Корзина
55 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Высокочастотные генераторы Adtec

Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Представляем продукцию компании Adtec — лидера мирового рынка в разработке и производстве инновационных высокочастотных источников питания для полупроводниковых производств, производств плоских дисплеев и промышленного нагрева. Продукция компании включает ВЧ генераторы и автоматические согласующие полное сопротивление устройства.

Компания Adtec производит твердотельные высокочастотные линейные источники питания мощностью от 200 Вт до 30 кВт на различные частоты, дающие превосходный контроль мощности, высокую надежность и меньший паразитный шум.

Тщательный подбор компонентов, в сочетании с проработанной конструкцией усилителя, позволяет уменьшить нагрузку на усилитель и увеличить среднюю наработку на отказ. Стабильность усилителя также предоставляет широкие возможности создания маломощных ВЧ импульсов малой длительности для применения в процессах травления и превосходное управление, даже при выходной мощности 1 Вт.

 

Таблица стандартных моделей генераторов Adtec

 

Высокочастотный генератор TX-10 1 кВт 13,56 МГц

Преимущества:

  • Малый паразитный шум.
  • Прочный, надежный дизайн, выдерживающий высокую отраженную мощность.
  • Может использоваться совместно с согласующими устройствами Adtec с функцией дугогашения и возможностью измерения напряжения смещения.
  • Соответствует RoHS

 

Технические характеристики:

 

МодельTX-10

Выходная мощность

0 ~ 1000 Вт (импеданс 50 Ом)

Выходной регулируемый диапазон

0 ~ 1000 Вт (с шагом 1 Вт)

Отклонение выходной мощности

В пределах +/-1% или +/-2Вт (что больше) от установленной мощности (отображаемой на дисплее) (при номинальной мощности, 25 °C, импедансе 50 Ом)

Выходная частота

13,56 МГц

Стабильность частоты

+/- 0,01% (10 ~ 40°C) кварцевый генератор

Выходной импеданс

50 Ом ± 2 Ом

Выходное гармоническое искажение

до -45 дБ (при номинальной мощности, 25 °C, импедансе 50 Ом)

Интерфейсы управления

Аналоговый, 24-контактный разъем типа «папа»
RS-232C, 9-контактный разъем D-Sub типа «мама»

Выходной разъем

N-тип

Охлаждение

Принудительное воздушное (Воздушный поток вентилятора = 3м3/мин)

Электропитание

~200..240В, 50..60 Гц

Ток утечки

менее 5мА/~200 В

Размеры

215 x 498 x 145 мм

Вес

13 кг

 

Дополнительные опции:

  • Изменяемая частота (для частотного согласования).
  • Режим ВЧ импульсов.
  • Дугогашение (включая подсчет дуг).
  • Вход внешнего задающего генератора (для управления разностью фаз междудвумя генераторами и т.п.).
  • Альтернативные интерфейсы управления (Profibus, DeviceNet и др.).
  • Альтернативные разъемы (50-контактный и др.).
  • Вспомогательная клавиатура и ЖК дисплей на передней панели (для ручного управления и наблюдения).
  • Выключатель на передней панели.

 

ВЧ согласующие устройства Adtec

Компания Adtec специализируется на создании согласующих устройств. Согласующее устройство может разрабатываться по ТЗ заказчика, для увеличения скорости и точности согласования. Датчик согласования может быть установлен на согласование от 1 Вт, в зависимости от потребностей заказчика.
Компания Adtec может произвести измерение импеданса существующих систем у заказчика и построить согласующее устройство соответственно с результатом этого измерения.
Диапазон мощностей согласующих устройств Adtec совпадает с диапазоном мощностей генераторов Adtec; варьируется от 300 Вт до 30000 Вт.

В зависимости от спецификации заказчика также могут быть добавлены:

  • Датчик напряжения смещения Vp-p/vp.
  • Датчик напряжения смещения Vdc.
  • Детектор дуг Vdc.

Интерфейсы управления:

  • Аналоговый RS-232C.
  • Profibus.
  • Программное обеспечение Adtec AMV Control.

Параметры подстройки сохраняются в согласующем устройстве. С помощью программного обеспечения AMV Control эти параметры могут быть изменены для изменения скорости подстройки, начальной точки (через предустановки), диапазона согласования и многого другого. Для отладки имеется возможность переключения прибора между ручным и автоматическим режимом. ПО AMV Control может использоваться для отслеживания емкостей конденсаторов переменной емкости, проходящей и отраженной мощностей, Vpp и Vdc (в зависимости от требований заказчика) согласующего устройства.

Ниже представлены характеристики согласующего устройства для ВЧ генератора TX-10 1 кВт 13,56 МГц.

 

Технические характеристики:

Согласующее устройство

AMVG-1000

Частота

13,56 МГц/27,12 МГц

Максимальная мощность в прямом направлении

1000 Вт

Входной импеданс

50 Ом (при согласовании)

Входной разъем ВЧ

N-тип, типа «мама» (может быть изменен по требованию заказчика)

Выходной разъем

По ТЗ заказчика

Заземляющий вывод

Шпилька M4

Коэффициент стоячей волны по напряжению (VSWR)

Менее 1,2 при согласовании

Диапазон согласования

Согласно ТЗ заказчика

Переменный элемент

Вакуумные конденсаторы переменной емкости

Привод конденсаторов переменной емкости

2-фазные шаговые электродвигатели

Охлаждение

Принудительное воздушное

Питание

24 В (±10%) постоянного напряжения от источника питания AMVG-PS-XX

Размеры

Согласно ТЗ заказчика

Условия эксплуатации

Температура: 10-40 °C
Влажность: 20-80% (без конденсации)
Высота: ниже 2000 м

Вес

9 кг

 

Источник питания для согласующего устройства AMVG-1000

Технические характеристики:

Модель AMVG-PS-XX
Входное напряжение ~80..265 В, 50-60 Гц
Выходное напряжение 24 В постоянного тока
Размеры Согласно ТЗ заказчика
Вес 1,7 кг
Характеристики
Основные
Производитель   ADTEC
Страна производитель США
Пользовательские характеристики
Производитель Adtec
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте