Корзина
55 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Компактные испарители жидкостей HORIBA STEC серии MI/MV

Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Свойства и преимущества серии MI:

  • компактные;
  • пьезоэлектрический привод;
  • используют газоноситель для эффективного процесса испарения;
  • поддержание точной температуры за счет встроенного нагревателя, термопары и PID контроля;
  • испарение низкокипящих и вязких жидкостей;
  • функция контроля расхода на выходе;
  • работает в условиях вакуума и при атмосферном давлении.

 

Основные шаги процесса испарения рабочих жидкостей и подачи их в технологическую камеру:

  • Измеряется расход рабочей жидкости из источника и расход контролируется клапаном посредством системы обратной связи.
  • Жидкость полностью и мгновенно испаряется.
  • Образующийся газ подается в технологическую камеру без реконденсации в жидкую фазу.

 

Компактные испарители серии MI/MV

Для своей работы используют массовый расходомер жидкости, а также РРГ, который контролирует ввод газаносителя в испаритель.
Принцип работы испарителей серии MI показан на рисунке ниже.

 

Свойства и преимущества серии MV:

  • Одинаковый с серией MI принцип действия.
  • Имеется настройка разности температуры в области смешивания и испарения.
  • Низкая температура области смешивания предотвращает температурное расслоение смеси.
  • Высокая температура области испарения создает высокую скорость испарения (20 г/мм).

 

Технические характеристики

Модель

MI-1000

MV-1000

Тип жидкости

Все жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF)

Пример создания потока: TEOS (до 7г/мин), IPA (до 3сс/min)

Макс. 5,0 CCM перевод (перевод жидкой фазы)

Нагреватель

120 В (100 Вт)/208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт)

Контрольный клапан: 120 В (100 Вт)/ 208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) Испаритель

Смачиваемые части

SUS316L, PFA

Настройки температуры

Макс. 140°С

Управляющий клапан: макс. 140°С  Испаритель: макс. 200°С

Датчик температуры

Термопара К типа

Термопара К типа (Управляющий клапан, испаритель)

Выключатель температуры

Высокий допуск 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC

Управляющий клапан: 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC Испаритель: 2450RC 250°С (ELMWOOD) типа NC

Наружные утечки

Менее чем 1×10-8 Па·м3/с (He)

Полные утечки

Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Вариант с воздушным клапаном: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He)

Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Испаритель: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He)

Стандартное соединение

Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/4” VCR «папа»

Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/2” VCR «папа»

Рабочая температура

От 15 до 50°С

От 15 до 50°С

Сопротивление давления

1,0 МПа (G)

1,0 МПа (G)

Опции

Пневматический клапан

Пневматический клапан

Масса (без кабеля)

620±10 г (Стандартное исполнение), 700±10 г (исполнение с воздушным клапаном)

1110±10 г (Стандартное исполнение), 1190±10 г (исполнение с воздушным клапаном)

 

Габаритные размеры

Характеристики
Основные
Производитель   Horiba
Страна производитель Япония
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте