Корзина
55 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Квадрупольный масс-спектрометр (анализатор) остаточных газов HORIBA STEC MicroPole™

Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Современные полупроводниковые технологии достигли нано-уровня и тематика многих исследований и производств, так или иначе ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.

Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии :

  • самая маленькая и легкая в мире;
  • построена на девяти парах квадруполей;
  • может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр);
  • высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1-10-8 Па;
  • используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки;
  • не требует дегазации;
  • возможность соединения с фланцем CF35;
  • доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа.

 

Принцип измерения

 

Анализатор MicroPole™

Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра-прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл. Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс-спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.

 

Технические характеристики

Сенсор MPA7/SMPA7

Тип сенсора

Анализатор (Тип сенсора 7-2/65)

Анализатор (Тип сенсора 5-2/100)

Максимальное выходное возрастающее давление(по азоту), Па

0,5

0,2

Максимальное рабочее давление (по азоту), Па

0,9

0,6

Минимальное определяемое парциальное давление, Па

5*10-6 (70эВ)

5*10-6 (70эВ)

Разрешение, AMU

1,2 +/- 0,3

1,0 +/- 0,3

Максимальная температура прогрева, оС

350

Максимальна рабочая температура, оС

150

Тип соединения

MPA:

CF34 (ICF 34)

SMPA:

CF34 (ICF 34), ISO-KF16 (NW 16)

Вес

MPA:

Фланец CF34, 50 г

SMPA:

Фланец ISO-KF16, 50 г

SMPA:

Фланец CF34, 70 г

Нить накала

Y2O3/Ir 2шт.

RoHS

Совместимый

 

Генератор спектра [QL-SG01-065] [Ql-SG01-100]

Тип генератора

QL-SG01-065

Ql-SG01-100

Диапазон масс, AMU

2-65

2-100

Тип фильтра масс

Квадруполь

Детектор

Чаша Фарадея

Скорость сканирования измерений

1 с/скан для одного газа (10 с/скан для 10 газов)

Напряжение ионизации, эВ

43 или 70

Рабочая температура, оС

15 – 45

Рабочая влажность, %RH

30 – 80 (без конденсации)

Вес (с учетом специального фланца для серии SMPA), г

565

Габаритные размеры, ШхДхВ

150х62х47

Коммуникации

RS485; 9,6K/19.2K/38.4 Kbps

Электроэнергия

DC 24V +/-5%, 70VA

Тип соединения

PRC05-R6M

Мониторинг/Управление

Управляющая программа (QL-MC01) или программное обеспечение (QL-MS01)

Европейский знак соответствия, CE

Соответствие

RoHS

Соответствие

Характеристики
Основные
Производитель   Horiba
Страна производитель Япония
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте