Корзина
55 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Газоанализатор Transpector INFICON CPM

Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Transpector CPM недорогой газоанализатор для мониторинга самых современных техпроцессов. Газоанализатор Transpector CPM компании INFICON на месте подаёт ранние предупреждения и снижает издержки:

  • измерение реакций в газообразной фазе
  • проверка герметичности вакуумной системы
  • определение присутствия загрязнений даже в незначительном количестве
  • определение состава фона и техпроцесса
  • определение степени чистоты газа

Компактный прибор Transpector CPM компании INFICON для мониторинга процесса представляет собой полнофункциональный, компактный, доступный по цене газоанализатор (квадрупольный масс-спектрометр), который оптимально подходит для мониторинга комплексных процессов прямо на месте. Для достижения новых уровней производительности эта система с безмасляной откачкой использует испытанную технологию газоанализатора Transpector 2 компании INFICON.

 

 

Особенности и возможности газоанализатора CPM FDC

  • газоанализатор на основе квадруполя для мониторинга комплексных процессов
  • возможен непрерывный мониторинг для максимального увеличения выпуска продукции и производительности, что сокращает издержки
  • компактный квадрупольный масс-спектрометр, имеющий невысокую стоимость для установки на любой высоковакуумной камере
  • система отбора проб HexBlock™ повышает производительность
  • газоанализатор имеет встроенный CDG для мониторинга давления в среде процесса и блокировки вакуума
  • по заказу предоставляется калибровочный эталон для настройки опорного сигнала по газу
  • долговечный закрытый ионный источник обеспечивает обнаружение загрязнений в диапазоне менее ppm и устойчив к воздействию большинства коррозионных и химически активных газов
  • небольшой вес, легко транспортируется

 

 

Оптимальная конструкция газоанализатора CPM

Производственная площадь дорого стоит, поэтому прибор СРМ имеет компактную универсальную конструкцию и занимает мало места. Для ускорения получения результатов в широком диапазоне рабочих давлений и сведения к минимуму влияния на анализируемые газы, компания разработала универсальное впускное устройство HexBlock™. Чтобы гарантированно обеспечить наилучшие эксплуатационные характеристики и очень высокую надёжность, в приборе используется квадрупольный анализатор, который был установлен в более чем 12000 газоанализаторах Transpector 2 и хорошо себя зарекомендовал.

Чтобы обеспечить коррозионную стойкость к воздействию чрезвычайно агрессивных газов, присутствующих в некоторых сложных техпроцессах, например при травлении и химическом осаждении из паровой фазы, компания изготовила впускное устройство HexBlock из цельнометаллической заготовки из химически инертной нержавеющей стали 316 и использовала коррозионно-стойкие насосы. В приборе установлен закрытый ионный источник, рассчитанный на долговременную работу в неблагоприятных условиях различных техпроцессов, при этом позволяющий определять загрязнения, содержание которых менее 1 ppm.

Встроенный ёмкостный мембранный манометр с высокой точностью измеряет рабочее давление техпроцесса и позволяет осуществлять блокировку вакуумной системы при необходимости. Кроме того, по заказу поставляется калибровочный эталон для настройки и опорного сигнала по газу.

 

 

Полная всесторонняя поддержка

Являясь мировым лидером в области производства анализаторов остаточных газов для полупроводниковой отрасли, компания INFICON располагает всеми необходимыми ресурсами для разработки новаторских надёжных систем контроля, повышающих выпуск годных изделий, а также имеет международную сеть специалистов по прикладным решениям и поддержке для оказания помощи в любом регионе в любое время, когда возникнет такая необходимость.

Компактный газоанализатор Transpector CPM компании INFICON для мониторинга техпроцесса обладает теми эксплуатационными характеристиками, универсальностью и достоинствами, которые традиционно ассоциируются с продукцией INFICON, и отличается небольшими габаритами, доступной ценой и надёжностью, достаточной для непрерывного круглосуточного контроля производственного техпроцесса или применения в области фундаментальных исследований.

2.3CPM2.png

Перечень компонентов прибора CPM

1.Блок электроники СРМ
2.Датчик СРМ
3.Нагреватель и манифольд датчика
4.Дополнительный калибровочный эталон
5.Впускное устройство HexBlock™
6.Фланцы для присоединения к технологическому оборудованию (CF40, KF40 или KF25)
7.Ёмкостный мембранный манометр для измерения давления в техпроцессе
8.Переходное соединение для высоковакуумных приложений
9.Высоковакуумный гибридный насос
10.Встроенный блок форвакуумной линии
11.Электромагнитные клапаны
12.Регулятор расхода азота (для продувки азотом и управления клапанами)

CPM3komponent.png

 

 

Впускное устройство HexBlock™

CPM4.png

Гибкий контроль техпроцесса предъявляет особые требования к газоанализаторам. Масс-спектрометры должны быть способны работать в широком диапазоне давления, соответствующего различным стадиям производственного цикла, быть стойкими к воздействию коррозионных газов и иметь достаточно компактный размер для беспрепятственной установки на оснащённое приборами технологическое оборудование или вакуумные камеры. Компания INFICON разработала собственное принципиально новое впускное устройство HexBlock для удовлетворения этим требованиям и обеспечения оптимальной производительности.

  • Четыре клапана обеспечивают возможность присоединения к зоне высокого вакуума, двум технологическим зонам с разным рабочим давлением и байпасный канал для высокого давления, при этом не требуется менять диафрагму
  • Взаимозаменяемые диафрагмы позволяют использовать прибор CPM для контроля различных техпроцессов
  • Изготовлено из химически инертной нержавеющей стали 316, более стойкой к воздействию агрессивных газов, чем сталь марки 304
  • Моноблочная конструкция имеет поверхность меньшей площади для сведения к минимуму поверхностных реакций и уменьшения времени отклика
  • Поверхности отполированы для дополнительного уменьшения вероятности поверхностных реакций
  • Меньший размер (длина 7,1 см по сравнению с 18 см)
  • Отверстие для манометра с присоединённым ёмкостным мембранным манометром, контролирующим рабочее давление технологической среды с целью выбора подходящего впускного канала для отбора пробы и обеспечения блокировки вакуумной системы
  • Входное отверстие для калибровки позволяет присоединить резервуар (не входит в комплект) с эталонным газом для настройки и получения опорного сигнала по чувствительности
  • Конструктивная возможность присоединения щупа позволяет осуществлять отбор пробы ближе к фактической области протекания реакций в ходе техпроцесса
  • Различные фланцы для присоединения к технологическому оборудованию (CF40, KF40 и KF25)
CPM5.png

 

 

Технические характеристики газоанализатора Transpector CPM

 

CPM

CPM

CPM

Диапазон масс

1-100 а.е.м.

1-200 а.е.м.

1-300 а.е.м.

Ширина пика на уровне 10% от максимума

< 1 а.е.м.

Тип источника ионов

закрытый источник ионов

Диапазон полного давления1

5E-7 – 1E-3 торр (6,6E-7 – 1,3E-3 мбар)

Погрешность измерения полного давления2

±25% в диапазоне 1E-6 – 1E-3 торр (1,3E-6 – 1,3E-3 мбар)

Макс. рабочее давление источника ионов3

1E-3 торр (1,3E-3 мбар)

Номинальное рабочее давление источника ионов4

2E-4 торр (2,6E-4 мбар)

Рабочее давление системы (с диафрагмами и капилляром)

1E-8 торр (1,3E-8 мбар) – 2 атм.

Коэфф. усиления ВЭУ при 1225 В

> 10000

Чувствительность

слабая эмиссия, ЦФ

 

сильная эмиссия, ЦФ

 

> 4,0E-6 А/торр (> 3E-6 А/мбар)

> 2,0E-5 А/торр (> 1,5E-5 А/мбар)

 

> 2,0E-6 А/торр (> 1,5E-6 А/мбар)

> 1,0E-5 А/торр (> 7,6E-6 А/мбар)

 

> 1,0E-6 А/торр (> 7,6E-7 А/мбар)

> 5,0E-6 А/торр (> 3,8E-6 А/мбар)

Мин. измеряемое парциальное давление6

1,0E-13 торр (1,3E-13 мбар)

2,0E-13 торр (2,6E-13 мбар)

4,0E-13 торр (5,3E-13 мбар)

Чувствительность по изотопам7

< 5 ppm

< 10 ppm

< 100 ppm

Zero Blast8

< 2 ppm

< 25 ppm

< 200 ppm

Предел чувствительности9

< 1 ppm

< 2 ppm

< 4 ppm

Линейность10

±20%

Мин. остаточное давление

< 1,0E-8 торр (< 1,3E-8 мбар)

Макс. рабочая температура впускного устройства и датчика

150°C

 
  • Показание давления при слабой эмиссии с использованием линзы полного давления
  • Погрешность измерения полного давления при слабой эмиссии
  • Макс. рабочее давление источника ионов при слабой эмиссии (порог отключения катода)
  • 2E-4 торр в закрытом источнике ионов создаёт давление приблизительно 1Е-5 торр в области квадруполя
  • Мин. коэффициент усиления ВЭУ при макс. напряжении на ВЭУ
  • Мин. регистрируемое парциальное давление с ВЭУ при коэфф. усиления 10000 и времени выдержки 1 сек.
  • Вклад элемента массой 40 а.е.м. в пик элемента массой 41 а.е.м.
  • Вклад Zero blast в пик элемента массой 2 а.е.м.
  • Мин. обнаруживаемое содержание криптона в воздухе при длительности выдержки 1 сек.
  • Линейность при слабой эмиссии и давлении в 0,1-2 раза отличающегося от номинального давления на диафрагме

 

 

Габаритные размеры газоанализатора Transpector CPM

CPM6gabarit.png

 

 
Характеристики
Основные
Производитель   INFICON
Страна производитель Германия
Пользовательские характеристики
Производитель Inficon
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте