Корзина
44 отзыва
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 17 2722452

Система для контроля пластин Applied Materials UVISION® 7 INSPECTION

  Система для контроля пластин Applied Materials UVISION® 7 INSPECTION, фото 1
 Система для контроля пластин Applied Materials UVISION® 7 INSPECTION, фото 2
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172722452
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172722452
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Система UVision® 7 ‒ это новейший представитель линейки UVision для контроля пластин, оснащенный базовой технологией лазерного освещения дальнего ультрафиолетового излучения (DUV), с уникальной для этой линейки продуктов двухканальной приёмной оптикой (тёмные пятна дефектов на светлом поле и яркие пятна дефектов на тёмном поле).

 

Система обладает наименьшей оптической чувствительностью (30 нм), что позволяет применять её в новейших исследованиях и разработках с чувствительностью к дефектам менее 10нм. Она также повышает контроль дефектов на расширенных слоях шаблонов в FEOL и BEOL для 1-нм узлов и технологий, включающих логические устройства на плавниковых транзисторах, DRAM, 4x 3D устройства И-НЕ, двойное и четырехкратное формирование рельефа и EUV слои.

 

Система UVision 7 спроектирована с на 30% большим потреблением света по сравнению с инструментами предыдущего поколения, тем самым еще больше увеличивая рабочие пределы мощности лазера и значительно повышая чувствительность. Платформа также имеет улучшенную систему сбора данных, которая также повышает чувствительность как к логическим схемам с высокой плотностью упаковки, так и к краю структуры, с уменьшенной частотой ложных срабатываний в этих областях на 50%. Кроме того, система позволяет снизить производственные затраты с увеличенной производительностью более чем на 40%.

 

UVision 7 включает в себя Marker ™ ‒ новое интегрированное приложение на базе САПР, которое предназначено для сбора  полезной информации и параметров пластины для настройки порогов обнаружения локальной геометрии и шума. Это повышает чувствительность, улучшает сортировку и повышает точность координат. Приложение Marker является ключевым компонентом новой системы при разработке процессов и производственной деятельности.

Характеристики
Основные
Производитель   Applied Materials
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте