Корзина
47 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Установка для плазмохимического газофазного осаждения Applied Materials PRODUCER® BLOK™ PECVD

  Установка для плазмохимического газофазного осаждения Applied Materials PRODUCER® BLOK™ PECVD
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Ведущая в отрасли установка PECVD Applied Producer BLOk выполняет плазмохимическое газофазное осаждение (PCEVD) медного барьера с низкой диэлектрической проницаемостью (BLOk) и плёнок для формирования схем металлических межсоединений на пластинах с использованием химико-механической полировки взамен травления металла. Благодаря архитектуре Producer Twin Chamber®, каждая пластина подвергается прямо на месте запатентованному процессу удаления оксида меди, предшествующему осаждению барьера с низкой диэлектрической проницаемостью (BLOk), обеспечивая отличную адгезию для меди или кобальта для снижения электромиграции.

 

Пленки BLOk позволяют значительно уменьшить емкость ряда диэлектрических пленок, сохраняя при этом превосходную селективность травления и электрические характеристики для непрерывной пропорциональной резистивно-емкостной миниатюризации. Проверенные процессы подготовки поверхности и запуска формирования слоя позволяют технологии BLOk легко интегрироваться с Black Diamond, обеспечивая плавный переход на поколение 45-нм и выше.

 

На высоконадёжной, проверенный в производственных условиях платформе Producer с высокой пропускной способностью, можно обрабатывать одновременно до шести пластин для значительного снижения затрат. Возможности расширения позволяют пользователям использовать технические средства Producer для множественной обработки компонентов.

Характеристики
Основные
Производитель   Applied Materials
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте