Корзина
48 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Инверсно-магнетронный вакуумметр Inficon с датчиком Пирани

  Инверсно-магнетронный вакуумметр Inficon с датчиком Пирани
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Инверсно-магнетронные вакуумметры с датчиком Пирани MPG400 и MPG401 компании INFICON измеряют давление в диапазоне от 5x10-9 мбар до атмосферного давления (3,8x10-9 торр до атмосферного давления). Комбинация технологий в одном компактном модуле с одним выходным аналоговым логарифмическим сигналом существенно упрощает установку, настройку и интеграцию.

 

Преимущества инверсно-магнетронных вакуумметров

  • Комбинированный вакуумметр: инверсно-магнетронный датчик и датчик Пирани
  • Широкий диапазон измерения от 5x10-9 мбар до атмосферного давления
  • Отсутствует перегораемая нить накала
  • Превосходные свойства процесса зажигания плазмы
  • Легкая очистка
  • Вакуумный ввод с металлическим уплотнением или уплотнением из фторкаучука (FPM)
  • СИД для индикации подачи высокого напряжения
  • Выходной аналоговый логарифмический сигнал

 

Области применения инверсно-магнетронных вакуумметров

  • Мониторинг высокого вакуума
  • Базовое давление в системах распыления и напыления
  • Измерение и контроль вакуума в диапазоне от среднего до высокого вакуума

 

Информация для заказа

Тип

MPG400

Уплотнение из фторкаучука (FPM)

MPG401

Металлическое уплотнение

DN 25 ISO-KF

351-010

351-020

DN 40 ISO-KF

351-011

351-021

DN 40 CF-F

351-010

351-022

Принадлежности

Магнитный экран

351-023

351-023

 

Технические характеристики

 

MPG400

Уплотнение из фторкаучука (FPM)

MPG401

Металлическое уплотнение

Диапазон измерения (воздух, N2)

мбар (торр)

5 x 10-9 … 1000 (3.8 x 10-9 … 760)

Точность(N2), 1 x 10-8 … 100 мбар, % от показания

≈±30%

Повторяемость 1×10-8 … 100 мбар, % от показания

≈±5%≈

Положение установки

любое

Допустимое давление, бар (абс.)

≤10 ( в среде инертных газов)

Допустимая температура

Эксплуатация (окружающая среда), °C

+5 … +55

Хранение, °C

–40 … +65

Обезгаживание прогревом(1), °C

150

Температура катода (Пирани), °C

120

Напряжение питания

Вакуумметр

В, пост. ток

+15 … +30

Блок питания с кабелем максимальной длины, В, пост. ток

+16 … +30

Пульсации, Vpp

≤1

Потребляемая мощность, Вт

≤2

Требуемый предохранитель, AT

≤1

Выходной сигнал (результат измерения)

Диапазон напряжения, В

0 … +10.5

Диапазон измерения, В

+1.82 … +8.6

Зависимость напряжения от давления

логарифмический 0,6 В/декаду

Сигнал ошибки, В

<0.5 (нет электропитания)

>9,5 датчик Пирани, разрушение катода

Выходное полное сопротивление, Ом

2 x 10

Мин. полное входное сопротивление при нормальной нагрузке, кОм

10, защита от короткого замыкания

Время отклика p > 10-6 мбар, мс

<10

Время отклика p = 10-8 мбар, мс

≈1000

Идентификация вакуумметра, кОм

85, по отношению к общему выводу источника питания

Состояние

 

Режим: только датчик Пирани, В

0 (низкий)

Комбинированный режим: датчик Пирани/с холодным катодом, В

15 … 30 (высокий)

СИД, зеленый СИД

подано высокое напряжение

Электрическое подключение

эл. соединитель FCC 68, 8-контактный, розетка

Кабель датчика

экранированный 8-жильный

Длина кабеля, м

≤50 (8 x 0.14 мм2)

Рабочее напряжение, кВ

≤3,3

Рабочий ток, мкА

≤500

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

нержавеющая сталь, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

нержавеющая сталь, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

Внутренний объём, см3

≈20

Вес DN 25 ISO-KF, г

≈700

≈730

Вес DN 40 ISO-KF, г

≈720

≈750

Вес DN 40 CF-F, г

≈980

≈1010

Степень защиты

IP 40

Стандарты

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

  • Без электроники и магнитного экрана
  • Мин. напряжение блока питания должно быть увеличено пропорционально длине кабеля датчика

 

Запасные части

Тип

MPG400

Уплотнение из фторкаучука (FPM)

MPG401

Металлическое уплотнение

Состав комплекта для техобслуживания

опорное/центрирующее кольцо

уплотнения

стимулятор зажигания

351-999

351-997

Состав ремкомплекта

элемент Пирани

анод

удлинитель анода(1)

медное уплотнение(1)

резьбовой фиттинг(1)

опорное/центрирующее кольцо

уплотнения

стимулятор зажигания

351-998

351-996

Состав комплекта стимулятора зажигания:

стимулятор зажигания

351-995

351-995

Монтажное приспособление для стимулятора зажигания

351-994

351-994

только MPG401

Характеристики
Основные
Производитель   Inficon
Страна производитель Германия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте