Корзина
22 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок Inficon SQM16O

  Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок Inficon SQM16O
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O - это многоканальный измеритель на основе кристалла кварца.
Прибор SQM160 использует апробированную технологию INFICON датчика на основе кристалла кварца для измерения скорости напыления и толщины слоя в процессах напыления тонких плёнок. Этот прибор в стандартном исполнении имеет вводы для двух датчиков, предусмотрена возможность использования дополнительных вводов для четырёх датчиков. Через два вывода для устройства регистрации передаётся аналоговый сигнал, характеризующий скорость напыления и толщину плёнки.
Измерительные вводы можно назначить разным материалам, настроить для двухкристального датчика или усреднить сигналы для контроля напыления с более высокой точностью в больших системах. Режим выборки скорости позволяет продлить срок службы датчика с затвором в процессах напыления плёнок с высокой скоростью. Оператор может выбрать отображение значений скорости напыления в следующих единицах: 0,1 Ä/с или 0,01 Ä/с. Кроме того, можно выбрать отображение значений массы (Mass) или частоты (Frequency). Наличие четырёх выводов реле позволяет прибору SQM160 контролировать затворы детектора и источника, передавать установки толщины плёнки и времени, а также сообщать о неработоспособности кристалла. Дискретные вводы позволяют осуществлять пуск/останов и обнуление показаний внешними сигналами.
Прибор SQM160 в стандартном исполнении имеет электрический соединитель для передачи данных по стандарту RS-232 и ПО под Windows®, позволяющие настраивать прибор с ПК. ПО служит для настройки и сохранения всех параметров, управления прибором и сохранения данных процесса в XLS-файле. Для расширения возможностей передачи данных по стандартам USB и Ethernet можно воспользоваться соответствующими дополнительными электрическими соединителями.

 

 

Простая эксплуатация

Для начала измерения толщины и скорости напыления нажмите кнопку Zero, чтобы обнулить последнее показание толщины, затем кнопку Shutter, чтобы открыть затвор датчика или источника. Большие яркие светодиодные индикаторы одновременно отображают результаты измерений скорости напыления и толщины плёнки, которые видны на значительном удалении от прибора. После достижения нужного значения толщины или истечения заданного периода, затвор закрывается, и загораются соответствующие сигнализаторы на передней панели. В любой момент можно нажать кнопку Xtal Life, чтобы узнать оставшийся срок службы кристалла.
Чтобы настроить прибор для хранящихся в памяти 99 плёнок используются два меню. Для доступа к меню нажмите кнопку Program. Выбор и изменение значений параметров осуществляется вращением установочной ручки. На главном индикаторе отображаются подсказки меню, а значения отображаются на вспомогательном индикаторе (Time).

 

 

Высокая точность, низкая стоимость

Стандартная разрешающая способность по частоте составляет 0,12 Гц при четырёх показаниях в секунду. Режим высокой точности повышает разрешение до 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду. Температурная стабильность составляет 2 ppm во всём рабочем диапазоне. Ни один другой прибор в данной ценовой категории не обладает такой комбинацией высокой точности и высокой стабильности!

 

 

Преимущества SQM16O

  • В стандартном исполнении – два измерительных канала с возможностью четырёх дополнительных
  • Аналоговые выводы для регистрации скорости напыления и толщины плёнки
  • Режим высокой точности: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду
  • Электрический соединитель стандарта RS-232 (дополнительно USB или Ethernet)
  • Контроллеры, измерители и принадлежности для технологии напыления тонких плёнок

sqm160-2.jpg

Усовершенствованное ПО обеспечивает наглядное отображение данных процесса напыления тонких плёнок для облегчения документирования и анализа процесса. Резервное копирование настроек SQM160 обеспечивает согласованность процессов.

sqm160-3.jpg

 

 

Информация для заказа

Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c нужные цифры и буквы.

 

S

Q

M

1

6

0

-

a

b

c

 

 

 

a

Базовая модель контроллера
Стандартное разрешение – S
Высокое разрешение - H

b

Число каналов
В стандартном исполнении – 2
Дополнительно - 6

c

Интерфейс
В стандартном исполнении: RS-232 – R
Дополнительно: USB – U
Дополнительно: Ethernet - E

 

 

Типичная система измерения напыления тонких плёнок SQM160

sqm160-4.jpg

В составе типичной системы измерения напыления тонких плёнок SQM: измеритель SQM160 и, по меньшей мере, один датчик и один вакуумный ввод (для каждого датчика).

 

 

Принадлежности

 

782-900-008

Комплект для установки одного прибора SQM160 в 19" стойку

782-900-014

Комплект для установки двух приборов SQM160 в 19" стойку

782-502-062

Дополнительная плата для 4 датчиков (преобразует 2-канальный SQM160 в 6-канальный)

782-900-042

Комплект для высокого разрешения (повышает стандартную разрешающую способность SQM160 – устанавливается изготовителем)

782-900-040

Дополнительная плата для передачи данных по стандарту USB

782-900-041

Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet

 

 

Дополнительные принадлежности и запасные части

Принадлежности

782-900-017

Ручной пульт регулирования мощности, витой кабель 3 м

782-900-007

Расширитель стойки: установка одного прибора 5 ¼ в 19-дюймовую стойку

782-900-016

Переходник для стойки: установка двух приборов 5 ¼ в 19-дюймовую стойку

782-900-008

Расширитель с форм-фактором «31/2" Full Rack» стойки: для установки одного прибора SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку

782-900-014

Переходник с форм-фактором «31/2" Half Rack» для стойки: для установки двух приборов SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку

782-900-026

Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet

 

 

Генераторы и кабели

782-934-003-10

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011, 782-902-012-10

782-934-003-25

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-25

782-934-003-50

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-50

782-934-003-99

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-99

782-900-010

Дистанционный генератор

782-902-011

Кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка

782-902-012-10

Кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-012-25

Кабель 7,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-012-50

Кабель 15,4 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-012-99

Кабель 30,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-022

Согласующий кабель 150 мм с электрическими соединителями типа BNC и Microdot

782-932-022

Обжимная переходная муфта с 1/8" на 3/16"

782-932-020

Обжимная муфта 1/8"

782-932-021

Обжимная муфта 3/16"

 

 

Технические характеристики

 

Вводы QCM для датчиков

В стандартном исполнении: 2;
дополнительно: 4

Диапазон частот

1-6,5 МГц

Разрешающая способность по частоте

В стандартном исполнении: ±0,12 Гц при 4 показаниях в секунду
Дополнительно: ±0,03 Гц при 10 показаниях в секунду

Стабильность частоты

общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50 °C

Выбираемый период измерения

0,10-2 с (с шагом 0,05 с)

Фильтр измерений

1-20 показаний

Количество плёнок в памяти

99

Аналоговые выводы

два: 0-5 В постоянного тока, значения скорости напыления и толщины

Дискретные вводы/выводы

Два ввода и четыре вывода реле

Цифровой интерфейс

В стандартном исполнении: RS-232
Дополнительно: USB или Ethernet

Электропитание

100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт

Соответствие требованиям СЕ

Оборудование класса 1,
73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Установка

½ стойка, высота 3 ½, 89 x 213 x 197 мм

Масса

2,7 кг

ПО под Windows® (в комплекте)

Обеспечивает дистанционную настройку и управление, функции регистрации данных – см. снимки экрана ниже

Характеристики
Основные
Производитель   Inficon
Страна производитель Швейцария
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...