Корзина
49 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Блоки питания для напылительных установок En-Technologies

  Блоки питания для напылительных установок En-Technologies
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Компания EN Technologies - корейская компания, работающая в сфере производства электронной техники. Номенклатура выпускаемого оборудования включает в себя блоки питания, электрические распределительные устройства, устройства беспроводного интернета. Блоки питания, производимые компанией, используются в полупроводниковой технологии, производстве ЖК дисплеев, солнечных батарей и других высокотехнологичных технологиях. Оборудование компании поставляется в различные страны, например, Японию, Тайвань.

В разделе вы можете выбрать блоки питания следующих серий: EnerPulse Duo для дуального магнетронного распыления; EnerPulse HV для ионной очистки; EnerPulse для магнетронного распыления; EnerStream для магнетронного распыления; EnerWorks/IDU-200N для дугового нанесения покрытий; Forte I для ионно-лучевой обработки; Genius для атмосферного плазменного разряда; Hercules для ионной очистки; модулятор PulseGen Duo для дуального магнетронного распыления; модулятор PulseGen для магнетронного распыления.

 

 

Биполярный импульсный блок питания для дуального магнетронного распыления EnerPulse Duo

ener_pulse_duo_1.png


Особенности EnerPulse Duo
Высокая надежность:

  • Контроль высокой плотности импульсной плазмы
  • Разработан для процессов импульсного дуального магнетронного распыления
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Быстрое обнаружение дуги и прерывание
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления

 


Превосходная производительность:

  • Широкий рабочий диапазон
  • Регулируемая частота и длительность импульса

 


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет минимизации загрязнения мишени
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
  • PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
  • Архитектурное стекло, Хранилища данных
  • Напыление на корпуса мобильных телефонов
  • ITO покрытия для сенсорных панелей
  • Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и т.д.)
  • Осаждение нитридов и оксидов
  • PECVD процессы, импульсная очистка

 


Технические характеристики

Характеристики

EnerPulse5 Duo

EnerPulse10 Duo

Питание

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

5 кВТ

10 кВт

Выходное напряжение

800 В (Max. 1200 В)

Выходной ток

12.5 А

25 А

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Форма сигнала

Симметричный биполярный импульсный

Частота

20-150 кГц

Время выключения

2-6 мс

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

26.5

29.5

 

 

Униполярный импульсный блок питания для ионной очистки EnerPulse HV

ener_pulse_hv_2.png


Особенности униполярного импульсного блока питания
Высокая надежность

  • Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Быстрое обнаружение дуги и прерывание
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
  • Встроенный параметр управления дугой

 


Превосходная производительность

  • Широкий рабочий диапазон
  • Управление различными режимами


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение


Применения:

  • Ионная бомбардировка (высоковольтная очистка)
  • Pulse Bias


Технические характеристики

Характеристики

EnerPulse5 HV

EnerPulse10 HV

Питание

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

5 кВТ

10 кВт

Выходное напряжение

1400 В

Выходной ток

6.5 А

13 А (опционально до 40 А)

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Форма сигнала

Униполярный импульс

Частота

20-120 кГц

Время выключения

25 – 90 %

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

26.5

29.5

 

 

Импульсный блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerPulse

ener_pulse_3.png


Особенности импульсного блока питания постоянного тока EnerPulse
Высокая надежность:

  • Контроль высокой плотности импульсной плазмы
  • Разработан для процессов импульсного распыления
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Быстрое обнаружение дуги и прерывание
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
  • Встроенный параметр управления дугой

 


Превосходная производительность:

  • Широкий рабочий диапазон
  • Регулируемая частота и длительность импульса

 


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
  • PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
  • Архитектурное стекло, Хранилища данных
  • Напыление на корпуса мобильных телефонов
  • ITO покрытия для сенсорных панелей
  • Осаждение нитридов и оксидов
  • PECVD процессы, импульсная очистка

 

 


Технические характеристики

Характеристики

EnerPulse5

EnerPulse10

EnerPulse10LV

Питание

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

5 кВТ

10 кВт

10 кВт

Выходное напряжение

800 В (Max. 1200 В)

800 В (Max. 1200 В)

800 В (Max. 1050 В)

Выходной ток

12.5 А

25 А

33.3 А

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Форма сигнала

Импульсный постоянный ток

Частота

20-150 кГц

Время выключения

1.5-7 мс, в режиме постоянного тока

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

26.5

29.5

29.5

 

 

Блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerStream

ener_stream_4.png

Особенности блока питания постоянного тока EnerStream
Высокая надежность:

  • Разработан для магнетронного распыления на постоянном токе
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы
  • Уменьшенные выходные пульсации

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 0,5 мДж/кВт)
  • Быстрое обнаружение дуги и прерывание
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
  • Встроенный параметр управления дугой

 


Превосходная производительность:

  • Широкий рабочий диапазон
  • Возможность параллельного использования (до 160 кВт/8 блоков)
  • Постоянный контроль мощности и силы тока
  • Возможность использования с источником PulseGen (импульсный модулятор), что позволяет использовать блок питания как высокоемкостной источник питания
  • Дружественный пользователю интерфейс

 


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • Напыление на полупроводниковые пластины
  • Металлические и TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд)
  • PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
  • Архитектурное стекло, хранилища данных
  • Напыление на корпуса мобильных телефонов
  • ITO покрытия для сенсорных панелей
  • Напыление на автомобильные диски и производство ламп, FCCL
  • Ионное азотирование

 


Технические характеристики

Характеристики

EnerStream 10

EnerStream 15

EnerStream 20

Питание

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

10 кВТ

15 кВт

20 кВт

Выходное напряжение

800 В

Выходной ток

25 А (400 В)

37.5 А (400 В)

50 А (400 В)

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Энергия дуги

менее чем 0.5 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

26.5

29.5

29.5

 

 

Блок питания постоянного тока для дугового нанесения покрытий EnerWorks/IDU-200N

ener_works_idu_200n_5.png

 

Особенности EnerWorks/IDU-200N
Высокая надежность:

  • Оптимальное управление для дугового напыления
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Пониженные выходные пульсации
  • Внутреннее циркуляционное охлаждение
  • Компактные размеры

 


Превосходная производительность:

  • Автоматический триггер и перезагрузка
  • Самодиагностика
  • Параллельная работа

 


Преимущества:

  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Дружественный пользователю интерфейс
  • Увеличенный выпуск продукции
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • Упрочняющие покрытия для инструментов и металлических деталей
  • Декоративные цветные покрытия
  • Покрытия автомобильных и электронных компонентов
  • Упрочняющие покрытия для металлических корпусов мобильных телефонов

 


Технические характеристики

Характеристики

EnerWorks 100

IDU-200N

Питание

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

5 кВТ

10 кВт

Выходное напряжение

50 В (Max. 70 В)

Выходной ток

100 А

200 А

Регулировка

Ток

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 543

В178 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

27.5

31.0

 

 

Блок питания постоянного тока для ионно-лучевой обработки Forte I

forte_i_6.png

 

Особенности блока питания Forte I
Высокая надежность:

  • Оптимальное управление ионного луча
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Пониженные выходные пульсации
  • Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Быстрое обнаружение дуги и прерывание
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
  • Встроенный параметр управления дугой

 


Преимущества:

  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • Обработка поверхностей
  • Напыление с ионно-лучевым ассистированием
  • Ионно-лучевое напыление

 


Технические характеристики

Характеристики

Forte I-302

Питание

3 Ф, 208/220/380 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

6 кВТ

Выходное напряжение

3000 В

Выходной ток

2000 мА

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Время выключения

1.5-7 мс, в режиме постоянного тока

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 565

Вес, кг

18.5

 

 

Квазиимпульсный блок питания для атмосферного плазменного разряда Genius

genius_7.png

Особенности квазиимпульсного блока питания Genius
Высокая надежность:

  • Управление плазмой высокой плотности
  • Оптимален для процессов DBD (диэлектрический барьерный разряд)
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы

 


Превосходная производительность:

  • Автоматический триггер и перезагрузка
  • Самодиагностика
  • Параллельная работа
  • Квазиимпульсный
  • Широкий рабочий диапазон
  • Регулируемая частота (20-60 кГц)
  • Варьируемая ширина импульса (7 шагов)

 


Преимущества:

  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Дружественный пользователю интерфейс
  • Увеличенный выпуск продукции
  • Низкие затраты на владение
  • Принудительное воздушное охлаждение

 


Применения:

  • Очистка поверхностей
  • Активация поверхностей
  • Сухое травление
  • Удаление фоторезиста

 


Технические характеристики

Характеристики

Genius 2

Genius 6

Genius 10

Питание

3 Ф, 220В, 50-60 Гц

Выходная средняя мощность

2 кВТ

6 кВт

10 кВт

Выходная пиковая мощность

6 кВА

18 кВА

30 кВА

Выходной напряжение

4 – 10 кВ5 – 12 кВ6.5 – 15 кВ

2 – 10 кВ2 – 12 кВ2 – 15 кВ

2 – 10 кВ2 – 12 кВ2 – 15 кВ

Регулировка

Мощность/ Напряжение

Форма сигнала

Квазиимпульсный

Частота

20-150 кГц

Время выключения

1.5-7 мс, в режиме постоянного тока

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

 

Вес, кг

26.5

29.5

29.5

 

 

Блок питания постоянного тока для ионной очистки Hercules

herlcules_8.png

Особенности блока питания Hercules
Высокая надежность:

Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
Стабильная топология с падающей характеристикой
32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Быстрое обнаружение дуги и прерывание
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
  • Встроенный параметр управления дугой

 


Превосходная производительность:

  • Широкий рабочий диапазон
  • Параллельная работа
  • Позволяет устанавливать пределы по напряжению/току/мощности
  • Стабильный разряд

 


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • Ионная бомбардировка (Высоковольтная очистка)
  • Bias

 


Технические характеристики:

Характеристики

Hercules 10

Hercules 20

Питание

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

10 кВт

20 кВт

Выходное напряжение

1200 В

Выходной ток

33,3 А (300 В)

80 А (250 В)

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

26.5

29.5

 

 

Высокоемкостной импульсный модулятор для дуального магнетронного распыления (объединение с блоком питания EnerStream) PulseGen Duo

pulsegenduo_9.png


Особенности импульсного модулятора PulseGen Duo:
Высокая надежность:

  • Контроль высокой плотности импульсной плазмы
  • Разработан для процессов импульсного дуального магнетронного распыления
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления

 


Превосходная производительность:

  • Широкий рабочий диапазон
  • Регулируемая частота и длительность импульса
  • Соединение с блоком питания EnerStream 20 позволяет использовать как высокоемкостной импульсный блок питания

 


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет минимизации загрязнения мишени
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд.)
  • PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
  • Архитектурное стекло, Хранилища данных
  • Напыление на корпуса мобильных телефонов
  • ITO покрытия для сенсорных панелей
  • Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и тд.)
  • Осаждение нитридов и оксидов
  • PECVD процессы, импульсная очистка

 


Технические характеристики

Характеристики

PulseGen 20 Duo

PulseGen 30 Duo

Питание (AC)

1 Ф, 220 В, 50-60 Гц

Питание(DC)

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

20 кВТ

30 кВт

Выходное напряжение

800 В (Max. 1200 В)

Выходной ток

50 А

75 А

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Форма сигнала

Симметричный биполярный импульсный

Частота

20-50 кГц

20-40 кГц

Время выключения

2-6 мс

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

24

33

 

 

Высокоемкостной импульсный модулятор для магнетронного распыления (объединение с блоком питания EnerStream) Pulse Gen

pulsegen_10.png


Особенности Pulse Gen
Высокая надежность:

  • Контроль высокой плотности импульсной плазмы
  • Разработан для процессов импульсного магнетронного распыления
  • Стабильная топология с падающей характеристикой
  • 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
  • Низкие помехи и шумы

 


Высоконадежная защита от дуги:

  • Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
  • Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления

 


Превосходная производительность:

  • Широкий рабочий диапазон
  • Легкая параллельная работа и импульсная синхронизация
  • Регулируемая частота и длительность импульса
  • Соединение с блоком питания EnerStream 20 позволяет использовать как высокоемкостной импульсный блок питания

 


Преимущества:

  • Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
  • Легкая интеграция в систему и техпроцесс
  • Удобная работа
  • Повышенная производительность
  • Низкие затраты на владение

 


Применения:

  • TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
  • PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
  • Архитектурное стекло, Хранилища данных
  • Напыление на корпуса мобильных телефонов
  • ITO покрытия для сенсорных панелей
  • Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и т.д.)
  • Осаждение нитридов и оксидов
  • Ионное азотирование

 


Технические характеристики

Характеристики

PulseGen 20

PulseGen 40

Питание (AC)

1 Ф, 220 В, 50-60 Гц

Питание(DC)

3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц

Выходная мощность

20 кВТ

40 кВт

Выходное напряжение

800 В (Max. 1200 В)

Выходной ток

50 А

100 А

Регулировка

Мощность/Ток/Напряжение

Форма сигнала

Импульсный DC

Частота

50 – 100 кГц

50 – 80 кГц

Время выключения

1.5-7 мс, в режиме постоянного тока

Энергия дуги

менее чем 1 мДж/кВт

Охлаждение

Принудительное воздушное

Размеры, мм

В133 х Ш 483 х Г 605

Вес, кг

24

32

 
Характеристики
Основные
Производитель   En-Technologies
Страна производитель Корея
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте