Корзина
49 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVD/ХГО для осаждения SiС) Theseus SCI TS-VCF-1163

  Вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы (CVD/ХГО для осаждения SiС) Theseus SCI TS-VCF-1163
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Вертикальная трубчатая печь ССЗ представляет собой печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда), предназначенную для возникновения коррозиеустойчивых покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки методом трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа.

 

Технические особенности

  • С использованием самой передовой технологии управления, можно точно контролировать поток и давление трихлормоносилана (MTS), поток осаждения является стабильным и давление колеблется в узком диапазоне.
  • Имеет особую камеру осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
  • Использует несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
  • Вертикальная трубчатая печь ССЗ имеет функцию удаления коррозионных отходящих газов, горючих и взрывоопасных газов, твердой пыли и липких материалов низкого плавления в процессе осаждения.
  • С использованием новейшей конструкции коррозионностойких вакуумных насосов, увеличивая их живучесть и сокращая время технического обслуживания.

 

Варианты комплектации вертикальной печи химического осаждения из газовой фазы

  • Двери печи: винтовой подъем /гидравлический подъем/ручной подъем; ручное запирание/автоматический кольцевой затвор
  • Корпус печи: полностью из  углеродистой стали/внутренняя поверхность из нержавеющей стали/целиком из нержавеющей стали.
  • Камера вертикальных печей для ССЗ: мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
  • Нагреватель, муфель: HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
  • Пневматическая система: объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка
  • Вакуумный насос и вакуумметр: импортный/китайский
  • PLC: OMRON/SIEMENS
  • Контроллер температуры вертикальной трубчатой печи ССЗ: SHIMADEN/EUROTHERM
  • Термопара: C тип/ S тип/ K тип/ N тип
  • Регистратор: безбумажный/ бумажный; импортный/китайский
  • HMI (интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
  • Электрические элементы: CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS

 

Параметры вертикальных печей химического осаждения из газовой фазы

Модели параметры

TS-VCF-1163-0305

TS-VCF-1163-0508

TS-VCF-1163-0812

TS-VCF-1163-1015

TS-VCF-1163-1218

TS-VCF-1163-1520

Размер рабочей зоны Д×В (мм)

Φ300×500

Φ500×800

Φ800×1200

Φ1000×1500

Φ1200×1800

Φ1500×2000

Нагрузка(кг)

50

150

500

1000

2000

3000

Макс. температура(°С)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

Однородность температуры(°С)

±5

±5

±7.5

±7.5

±10

±10

Мощность нагрева (кВт)

45

90

180

300

420

540

Предельный вакуум (Па)

20

20

20

20

20

20

Скорость увеличения давления (Па/ч)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

Вышесказанные данные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приёма, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении или контракте.

Характеристики
Основные атрибуты
Страна производитель Китай
Производитель   Theseus Lab
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте