Корзина
49 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Установки и технологические решения для осаждения тонких пленок и травления HHV

  Установки и технологические решения для осаждения тонких пленок и травления HHV
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Кластерные PECVD установки для НАНО Технологий:

klasternaja_ustanovka_1.png
  • Нанесение аморфного и микрокристаллического кремния легированного и нет, его  сплавов, диэлектриков, нитридов металлов, оксидов металлов и других материалов
  • Индивидуальная рабочая камера соединена с перегрузочной/изоляционной камерой как и загрузочный шлюз
  • Перемещение подложек: Магнитный / Роботизированный манипулятор
  • Размер подложек: 100 - 150 мм
  • Горизонтальное осаждение
  • Источники питания: MF/RF/VHF/MW
  • Температура подложки до 1000 °С
  • Анализ остаточной атмосферы
 

klasternaja_ustanovka_2.png

 

klasternaja_ustanovka_3.png

Кластерная PECVD система

 

 

PECVD установки проходного типа для промышленного производства:

  • Проходной процесс, вертикальная конфигурация
  • Полная автоматизация
  • Обработка двух подложек (1100х1400 мм) в камере
  • Время такта 3 минуты
  • Равномерность напыления +/- 10%
  • Уникальная система напуска газа
  • Простота в использовании
 

pecvd_4.png

 

 

PECVD установки проходного типа для НИОКР:

  • Нанесение аморфного и микрокристаллического кремния легированного и нет, его сплавов
  • Индивидуальная рабочая камера отделенная изоляционной камерой вместе с шлюзами загрузки/выгрузки
  • Размер подложки варьируется в зависимости от требований
 

pecvd_5.png

 

 

Перчаточные боксы для применения в органической электронике:

  • Камера испарения с источниками для органических материалов
  • УФ озоновая очистка
  • Нанесение фоторезиста
  • Сушка
  • Роботизированное нанесение клея
  • Нанесение жидкостей и паст
  • УФ системы отверждения
 

perchatochnyj_boks_6.png

 

 

Установки RIE/PE

 

napylitel'naja_ustanovka_rie_re_7.png

Однокамерные установки PECVDс возможностью реактивно-ионного травления

 

kamera_8.png

Камера с возможностью реактивно-ионного травления

Характеристики
Основные
Производитель   HHV
Страна производитель Индия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте