Корзина
49 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Установка напыления тонких пленок HHV Auto500

  Установка напыления тонких пленок HHV Auto500
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Многофункциональные установки напыления тонких пленок HHV Auto500  – это надежность и качество по доступной цене. HHV Auto500 является универсальной установкой напыления с фронтальной загрузкой для исследований и подготовки к серийному производству. Внутри камеры можно размещать подложки большого диаметра, она допускает совместное использование метода резистивного испарения, электронно-лучевого напыления и распыления без нарушения вакуума. Дополнительные возможности насосной системы позволяют использовать диффузионный насос, стандартный или безмасляный на магнитном подвесе, турбомолекулярные насосы, а также крионасос.

 

 

Установка Auto500 для резистивного и электронно-лучевого напыления

Установка напыления тонких пленок Auto500 - это эффективное, но доступное по цене средство реализации методов термического осаждения.

 


Технологическое оборудование

  • Прямоугольные камеры из нержавеющей стали размером 500 мм х 400 мм с возможностью водяного охлаждения
  • Камеры со стеклянным вакуумным колпаком или стеклянным цилиндром
  • Один или несколько резистивных источников, резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
  • Многотигельный электронно-лучевой источник мощностью 3 кВт или 6 кВт
  • Неподвижный и поворотный подложкодержатели
  • Устройства высокотемпературного нагрева подложки
  • Заслонки источника и подложки
  • Очистка в тлеющем разряде
  • Устройства измерения и контроля толщины пленки
  • Возможности применения загрузочного шлюза

Камера FL400 изнутри с электронно-лучевым источником EB3, двумя резистивными источниками и кварцевым ламповым нагревателем подложки.

Компактный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3 кВт с поворотным столиком и возможностью футеровки.

 

 

Установка Auto500 распыления на постоянном и ВЧ токе

Установка Auto500 после настройки представляет собой эффективную и универсальную установку распыления для проведения исследований. Установки могут быть оснащены максимум тремя источниками распыления, а универсальная система коммутации позволяет пользователям выбирать источник питания: постоянный ток или ток высокой частоты. Возможность дополнительно использовать установки технологического газа и подложкодержатели позволяет обеспечить максимальную гибкость технологического процесса.

 


На выбор предлагаются:

  • До трех магнетронных источников для вертикального напыления
  • Источники на шарнирах для фокусированного распыления
  • Возможности последовательного или совместного распыления
  • Возможности использования источников питания постоянного тока или тока высокой частоты
  • Реактивное распыление
  • Нагреваемые подложкодержатели
  • Подложкодержатели с электрическим смещением
  • Возможности применения загрузочного шлюза

Камеры FL500 с тремя источниками распыления диаметром 3” с наклонными головками.

 

 

Установка напыления тонких пленок Auto500 многоцелевого назначения

Универсальную установку напыления тонких пленок Auto500 можно настроить для использования многочисленных методов. Просторная камера FL500 может вмещать компактный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3 кВт с распылительными и резистивными источниками, обеспечивая исследователей средствами формирования многослойных пленок с использованием не нарушающих вакуум методов. В установке может также размещаться система очистки в тлеющем разряде и нагрева подложки, а также устройство измерения и контроля толщины пленки.

Камера FL500 изнутри с электронно-лучевым источником EB3 и двумя источниками магнетронного распыления диаметром 75мм.

 

 

Функциональные характеристики установки Auto500

Вакуумные установки:

  • Диффузионный насос производительностью 600 л/с
  • Турбомолекулярный насос производительностью 500 л/с
  • Безмасляный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе производительностью 450 л/с
  • Крионасос производительностью 1500 л/с
  • Пластинчато-роторный насос с масляным уплотнением производительностью 14,3 м3/ч и ловушка, охлаждаемая жидким азотом, в стандартной комплектации
  • Возможен вариант безмасляного спирального насоса

 


Камеры:

  • Прямоугольная камера FL400 с фронтальной загрузкой. Диаметр 400 мм x высота 500 мм со смотровым окном диаметром 100 мм и футеровкой камеры
  • Прямоугольная камера FL500 с фронтальной загрузкой. Диаметр 500 мм x высота 500 мм со смотровым окном диаметром 100 мм и футеровкой камеры
  • Водоохлаждаемые камеры FL400 или FL500 для использования при высокотемпературном нагреве подложек


Средства управления и обеспечения безопасности:

  • Контроллер системы на базе ПЛК с сенсорным дисплеем для управления вакуумной установкой
  • Автоматический высоковакуумный клапан служит для защиты насосов и технологического процесса
  • Комплексные блокировочные устройства обеспечивают максимально возможную безопасность оператора
  • Auto500 имеет маркировку ЕС


Планируемая модернизация:

  • Функциональная особенность модульной конструкции Auto500 состоит в том, что конфигурацию этой установки можно изменить или модернизировать при помощи дополнительного оборудования, поскольку со временем требования меняются
Характеристики
Основные
Производитель   HHV
Страна производитель Индия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте