Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка автоматического измерения дефектности KLA-Tencor Candela 8720

  Установка автоматического измерения дефектности KLA-Tencor Candela 8720
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Václavské náměstí 808/66, Nové Město, 110 00 Praha 1, Praha, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Установка автоматического измерения дефектности KLA-Tencor Candela 8720 предназначена для контроля производственного процесса с использованием таких материалов как: GaN, сапфир, SiC, Si, GaAs, стекло и кварц, а так же многих других.

Многоканальная система датчиков KLA-Tencor Candela 8720 в непрерывном режиме измеряет рассеяние света в зависимости от угла падения, изменений профиля, коэффициента отражения и фазового сдвига для автоматического определения и классификации критических дефектов. Оборудование обеспечивает высокую чувствительность, значительную пропускную способность контроля и гибкость, что позволяет применять систему как для целей контроля уже налаженного производственного процесса, так и для разработки технологического процесса.

 

Технические особенности

  • Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить скорость и пропускную способность контроля, а так же повысить его надежность;
  • Несколько оптических измерительных методик реализуются одновременно в одном сканировании для обеспечения максимальной эффективности автоматического распознавания дефектов и их классификации;
  • Повышенная чувствительность к критическим дефектам производства;
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов

 

Характеристики чувствительности к типовым дефектам

Тип дефекта

Материал

CS20R 

CS20V

8720

Частицы на

поверхности

Кремний

250 нм

80 нм

60 нм

Сапфир

300 нм

300 нм

248 нм

PSS

3 мкм

3 мкм

1112 нм

GaN на сапфире

1112 нм

1112 нм

499 нм

GaN на PSS

1112 нм

1112 нм

499 нм

Царапины

Сапфир

Глубина: 0,1 мкм

Длина: 5 мкм

Глубина: 0,03 мкм

Длина: 2 мкм

Глубина: 140 А

Длина: 0,4 мкм

GaN на сапфире

Глубина: 0,5 мкм

Длина: 5 мкм

Глубина: 0,15 мкм

Длина: 2 мкм

Глубина: 75 нм

Длина: 0,4 мкм

Эпитаксиальные

Кратеры

GaN на сапфире

15 мкм

15 мкм

0,3 мкм

GaN на PSS

15 мкм

15 мкм

0,6 мкм

Прочие

эпитаксиальные

дефекты

GaN на сапфире

Высота: 0,5 мкм

Длина: 100 мкм

Высота: 0,3 мкм

Длина: 100 мкм

Высота: 300 А

Длина: 30 мкм

GaN на PSS

Высота: 0,8 мкм

Длина: 100 мкм

Высота: 0,5 мкм

Длина: 100 мкм

Высота: 500 A

Длина: 30 мкм

 

Характеристики
Основные
Производитель   KLA-Tencor
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!