Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Оптическая система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS20

  Оптическая система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS20
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Václavské náměstí 808/66, Nové Město, 110 00 Praha 1, Praha, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Оптическая система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS серии предназначена для детального обследования поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов и позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции. Оборудование подходит для контроля как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

В системе используется запатентованный анализатор оптической чувствительности, непрерывно измеряющий интенсивность рассеянного света, изменение топографии, коэффициента отражения и фазового сдвига волны для автоматического определения и классификации визуальных образов дефектов в соответствии с используемой библиотекой типовых дефектов.

В основе анализатора оптической чувствительности лежит комбинация таких методик, как скаттерометрия, элипсометрия, рефлектометрия и оптическая профилометрия. Использование комбинации этих методик позволяет контролировать поверхность пластин на предмет технологических загрязнений, поверхностных и подповерхностных дефектов, изменений топографии и неоднородности поверхности тонких пленок. Система Candela CS характеризуется высокой чувствительностью, пропускной способностью и надежностью контроля, что делает ее оптимальной системой инспекции для нужд сложных технологических процессов.

Технические особенности:

  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Оборудование разработано с учетом промышленных  стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов
  • Пропускная способность контроля для пластин 2' – 40 шт/час, для платин 8' – 20 шт/час.
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов
  • Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.

 

Характеристики
Основные
Производитель   KLA-Tencor
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!