Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка для отжига с ИК-лампой SCREEN LA-830

  Установка для отжига с ИК-лампой SCREEN LA-830
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Установка LA-830 представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида,  устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.

 

Характеристики

  • Датчик температуры контакта пластины “TS probe” обеспечивает хорошую воспроизводимость процесса независимо от типов пластин и газов.
  • Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа создает среду обработки высокой чистоты. 
  • 18-ступенчатая регулировка мощности и уникальный механизм фиксации пластины обеспечивают улучшенную равномерность обработки.
  • Высокоскоростной температурный контроллер, предназначенный для линейного нагрева, предоставляет возможность непрерывного управления термическим процессом.

 

Базовая спецификация

  • Пластина/размер: Si/ 6 или 8 дюймов (выбор)
  • Перемещение пластины: Робот с двумя руками
  • Кварцевая рука, рука из керамики высокой чистоты (перемещение), кварцевый держатель
  • Перемещение в N2 (опция)
  • Термическая печь     
    • Галогеновая лампа больше 18/меньше 18: мощность лампы 170В, 1.7кВт на лампу
    • Корпус лампы: покрытие Au, водяное охлаждение
    • Диапазон температур: 350C ~1100C
    • Регулировка температуры: управление датчиком «TS probe» в замкнутом цикле
    • Различные технологические/предохранительные блокировки
  • Газовый блок   
  • Регулирование массового расхода: макс. 4 газа
  • Габариты (мм):  795(ш)x2950(г)x2150(в)   *без пульта управления
  • Вес: 1150кг (основной корпус)
Характеристики
Основные
Производитель   SCREEN
Страна производитель Япония
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...