Корзина
23 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Системы подачи газов IGS GAS CABINETS/ EQUIPMENT

  Системы подачи газов IGS GAS CABINETS/ EQUIPMENT
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Системы подачи газов, используемые в полупроводниковой промышленности. Компания IGS (Europe) Ltd IGS является одной из ведущих компаний специализирующихся на системах подачи и контроля газов, в Великобритании. Десятилетиями эта компания развивала навыки, знания и опыт чтобы стать ведущим экспертом в этой области. Компания работает рука об руку с клиентами, и предлагает наиболее экономически эффективные решениям для реализации проекта

 

Основные возможности:

  • различные конфигурации, как шкафное исполнение так и отдельные панели
  • управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые системы
  • сборка в условиях чистой комнанты класса 1000

 

Исполнения: одно, двух и трех баллонные.

Управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые шкафы.

 

Особенности:

  • 12 мм сталь холодной проката, с белым (или по заказу) порошковым покрытием, используемые материалы устойчивы к коррозии 
  • Самозакрывающаяся дверца и окно
  • Окно с армированным стеклом
  • Вентиляционные решетки в передних дверях
  • Фиксатор баллонов устойчив к коррозии

 

Комплектация

  • Панель управления
  • Аварийное отключение системы 
  • Вентиляционный датчик
  • Водораспыляющая головка пожаротушения
  • Фильтр 0,003 микрон.
  • Для продува линий встроен эжекторный насос с трубкой Вентури

 

Опционально

  • Полка регулирующая высоту баллона, можно использовать разные по высоте баллоны
  • Порт для подключения течеискателя
  • Встроенный анализатор утечки газа и внешняя панель оповещения оператора об утечке
  • Блок автоматического продува линий и панели 

 

 

Размеры в см

Модель

ширина 

глубина 

 высота*

 1 BC

 38

 51 

 202

 2 BC

 64

 51

 202

 3 BC

 102

 51

 202

*Под заказ возможно изготовление газовых шкафов меньших по высоте. 


Стандартные конфигурации газовых панелей в газовых шкафах

Двухбалонные конфигурации

Процесс - Продув

Внешняя линия для продува недоступна 

Процесс (без переключения)

Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува.

Процесс (с переключением) 

Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува доступна.

 

Трех балонные конфигурации

Процесс - Процесс - Продув (без переключения)

Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува недоступна. 

Процесс - Процесс - Продув (с переключением)

Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува не доступна.


Панели.

Газовые панели для подачи технологических газов

Легки в установке, эксплуатации, с коротким временем изготовления и поставки.

Модульный дизайн - дает возможность грамотной конфигурации системы с применением стандартных комплектующих.

Каталожные части - компоненты панелей это стандартные каталожные части ведущих поставщиков для полупроводниковой промышленности. Что гарантирует многообразие решений с наименьшей стоимостью, высоким качеством и коротким временем изготовления.

Стандартизированные компоненты -использование компонентов со стандартизированными размерами и функциональностью, позволяя легко осуществить замену в случае необходимости.

Клапаны: Rotarex, AP Tech, Swagelok, Veriflo 
Регуляторы: Rotarex, AP Tech, Tescom 
Датчики: MKS, Setra

 

Серия IFS M-LM100

 

  • Автоматическая панель для коррозийных газов высокого давления.
  • SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3, смеси и др
  • Полностью автоматическая, для повышения чистоты процесса и безопасности.
  • Регулятор давления (T) для баллонов и датчик давления.
  • Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки.
  • Система вентури для увеличения эффективности продува линии.
  • Механическая защита от избыточного давления.
  • Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.

 

Серия IFS M-LM700

  • Ручная панель для инертных газов
  • фреоны, N20, SF6 и др.
  • Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности.
  • Клапан продува (PGI) позволяет использовать газ для продува линий.
  • Система вентури для увеличения эффективности продува линии.
  • Механическая защита от избыточного давления.
  • Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.

 

 Серия IFS M-LM300

  • Ручная панель для коррозийных газов высокого давления
  • SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3 , смеси и др.
  • Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности.
  • Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки.
  • Система вентури для увеличения эффективности продува линии.
  • Механическая защита от избыточного давления.
  • Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.  
Характеристики
Основные атрибуты
Производитель   IGS
Страна производитель Великобритания
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...