Корзина
17 отзывов
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка плазмохимического осаждения Corial D250

  Установка плазмохимического осаждения Corial D250, фото 1
 Установка плазмохимического осаждения Corial D250, фото 2  Установка плазмохимического осаждения Corial D250, фото 3  Установка плазмохимического осаждения Corial D250, фото 4
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Установка осаждения диэлектриков . Эта PECVD -система предназначена для осаждения на подложки следующих пленок: SiO2, Si3N4, SixNy

Камера нанесения основана на концепции высокотемпературного изотермического реактора, находящегося внутри вакуумной камеры. Во время процесса PECVD давление в вакуумной камере намного ниже, чем в реакторе. В результате не происходит загрязнения наносимой пленки диэлектриков кислородом от холодных стенок камеры.

Плазменный реактор имеет круглую форму диаметром 250 мм и позволяет располагать пластины диаметром до 200 мм (или 2 пластины по 100 мм). Газовый душ способствует высокоравномерному распылению газа на пластине. Используемые газы равномерно накачиваются вокруг подложкодержателя. Plasma Box окружен двумя нагревающими кабелями. ИК-рефлекторы позволяют избежать потери тепла. В результате подложкодержатель и реактор оказываются в печи с контролем температуры подложки ±1°C.

 

Включает в себя следующие части:

  • Контроллер Eurotherm 2408 и термопара позволяют производить нагрев подложки до 325°C. Симметричный дизайн реактора позволяет проводить бомбардировку пластины ионами с достижением минимального стресса.
  • Плазменный реактор изготовлен из алюминия, что позволяет избежать коррозии при травлении для чистки. Специальное окно позволяет использовать лазерный рефлектометр для определения скорости осаждения и толщины пленок.
  • Насосную систему , которая включает :
    • насос № 1: ALCATEL ADP 122 P со скоростью откачки 95 м³/ч,
    • насос № 2 : ALCATEL турбомолекулярный (100 л/с) с продувкой( N2),
    • набор клапанов для дополнительного вакуумного кольца защиты камеры в случае избыточного давления N2 и чистки камеры травлением,
    • измеритель высокого вакуума Penning ,
    • измеритель вакуума T20 - 2 Torr для контроля вакуума в реакторе и камере.
  • Электронные контроллеры для проведения процесса
  • Высоко- и низковольтные источники питания (220 VAC и 400 VAC) и (5 V , +15 V , -15 V и +24 V ).
  • Газовую панель с семью линиями (максимум 9 линий) для реактивных газов с расходомерами UNIT . Стандартные MFCs 50 sccm O2 , 200 sccm SF6 , 1000 sccm N2 , 1000 sccm He, 500 sccm NH3 , 500 sccm N2O и 100 sccmSiH4 .
  • Охлаждаемый ВЧ-генератор 300 W 13.56 MHz .
  • Программное обеспечение COSMA , работающее на LINUX, включающее в себя:
    • автоматическое переключение между шагами в мультишаговых процессах в соответствии с сигналами от датчика окончания процесса или таймеров. Число шагов каждого процесса может достигать 300. Число самих процессов ограничено только пропускной способностью контроллера жесткого диска.Система проверяет все параметры и отображает на дисплее ошибки, которые могут происходить. Каждый шаг процесса находится под пристальным мониторингом и четко контролируется, что дает высокую воспроизводимость (повторяемость) процесса и его работоспособность. Частью пакета программного обеспечения является запись информации с возможностью дальнейшего просмотра параметров уже завершенных процессов.
    • доступно четыре режима программы:
      • редактирование для подгонки параметров или создания новых параметров для процессов,
      • запуск процесса плазмохимического осаждения с его контролем в реальном времени и выводом всех параметров на дисплей,
      • оптимизация для разработки новых процессов с помощью интерактивного контроля процесса и его редактирования,
      • режим технического обслуживания для диагностики и калибровки системы.
    • система поддерживает высокоскоростное Интернет-соединение,защищенное брандмауэром, а также соединение по VPN (виртуальной частной сети).
  • Персональный компьютер под управлением ОС Windows ,укомплектованный:
    • процессором Intel Pentium ,
    • 512 Мб ОЗУ и жестким диском,
    • 17-дюймовым ЖК-монитором,
    • мышкой и клавиатурой.
  • Рамку и панель для оборудования.

 

Дополнительное оборудование

Автоматический лазерный датчик окончания процесса с CCD -камерой для наблюдения за лазером (Ø25 µм) и предмета травления. Он укомплектован линзами с кратностью увеличения более 100 раз. Датчик измеряет степень травления, толщину протравленной поверхности и определяет окончание процесса. Также датчик укомплектован специальной поверхностью, двигающуюся в двух направлениях для точного позиционирования лазера.

 

Технические требования для установки Corial D 250 (L)

  • Электрообеспечение системы 400 B (±10%) 3 фазы + нейтраль +заземление / 7 КВА - 50 / 60 ГЦ.
  • Электрообеспечение охладителя 240 B (±10%) 1 фаза + нейтраль+ заземление / 7,5 КВА - 50 / 60 Hz .

* по умолчанию охладитель запитан от системы.

  • Электрообеспечение ПК 240 В или 110 В (±10%) 1 фаза +нейтраль / 0.8 КВА - 50 / 60 Гц.
  • Электрообеспечение монитора 240 В или 110 В (±10%) 1 фаза +нейтраль / 0.4 КВА - 50 / 60 Гц
  • Общее энергопотребление при работе: 10,3 КВт
  • Общее энергопотребление при подготовке: 3,1 КВт
  • Сухой и фильтрованный азот с регулятором от 0 до 3 атм.(Предоставляется заказчиком), полиамидный шланг Ø4/6 мм.
  • Сжатый воздух > 7 атм., полиамидный шланг Ø4/6 mm
  • Вытяжка ≥10 м 3/ч, Через ПВХ DN 40 (Предоставляется заказчиком)
  • Вытяжка для газа ≥100 м 3/ч, Через ПВХ Ø80 mm (Опция)
  • Газовые линии марки 316 L с клапанами и регуляторами от 0 до 3 атм. (Предоставляется заказчиком)

* Внимание: Для газов ( SF6 , CHF3 , CF4 , и т.д.) необходима установка двух регуляторов.

  • Окончание линий Ø4/6 мм с коннектором VCR «мама»
  • Чистота газов – для электронной промышленности
  • Дополнительно : телефонная линия ADSL (опция для удаленного доступа)

 

Характеристики
Основные
Производитель   Corial
Страна производитель Франция
Дополнительный сервис   Установка
Спецификация
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...