Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Система спектроскопического измерения толщины пленки SCREEN VM-1200/1300

  Система спектроскопического измерения толщины пленки SCREEN VM-1200/1300
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Václavské náměstí 808/66, Nové Město, 110 00 Praha 1, Praha, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

 

Установки серии VM-1200/1300 представляют собой экономичный настольный вариант системы спектроскопического измерения толщины пленки. Серия включает в себя широкий ряд моделей  с такими опциями, как автоматизированный столик и УФ-подсветка, что позволяет пользователю подобрать устройство для конкретных целей.

Модели серии VM-1200/1300 подходят для тех же областей применения, что  и VM-2200/3200, имеют доступную цену и могут использоваться для высокоточных измерений. Кроме того,системы данной серии совместимы с интерфейсом SECS и уже используются на многих производственных линиях.

 

Функции

  • Позволяет проводить измерения с отличной воспроизводимостью благодаря голографической дифракционной решетке и одномерному ПЗС-датчику, который может проанализировать более 2 000 точек отбора в полном диапазоне длин волн в видимом диапазоне спектра.
  • Простота эксплуатации благодаря функции мастера рецептов. 
  • Широкий набор функций обработки данных измерений, включая трехмерное картирование, компенсацию данных толщины пленки, гистограммное отображение и ряд других  статистических инструментов.
  • Автоматизированный столик с автофокусом.
  • Стандартная настройка с возможностью измерения толщины и спектральной отражательной способности 25 видов плёнок. Широкий выбор программ для измерения пленок других типов.
  • Одновременное многоуровневое измерение 4 слоев пленки.

 

Характеристики:

Размеры пластин:

  • ⌀50 мм,
  • ⌀75 мм,
  • ⌀100 мм,
  • ⌀125 мм,
  • ⌀150 мм,
  • ⌀200 мм,
  • ⌀300 мм

 

Возможности:

  • Измерение до 25 типов слоев пленок (29 для моделей с УФ-подсветкой)
  • Измерение спектральной отражательной способности
  • Регистрация типов пленок
  • Трехмерное картирование измеренных данных и другой статистической информации
  • Одновременное многоуровневое измерение (до 4 слоев)
  • Расчет скорости травления

 

VM-1210/VM-1310

Размер пятна  

  • ø20 мкм (объектив с 5-кратным увеличением)
  • ø10 мкм (объектив с 10-кратным увеличением) 
  • ø5 мкм (объектив с 20-кратным увеличением)                              
  • ø2 мкм (объектив с 50-кратным увеличением) (опция)

Диапазон измерения 

  • от 10 нм до 20 мкм (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 10-кратным увеличением)

Время измерения        

  • 1 сек. или меньше (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 10-кратным увеличением)

Воспроизводимость (ð)            

  • 0,1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3 000 нм)                       
  • 0,03 % (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)                                             
  • 0,2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм; метод P&V)

 

VM-1230/VM-1330

Размер пятна  

  • ø 13.4 мкм (объектив с 15-кратным увеличением)            
  • ø 4 мкм (объектив с 50-кратным увеличением) (опция)

Диапазон измерения 

  • от 2 нм до 20 мкм (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 15-кратным увеличением)

Время измерения        

  • 1 сек. или меньше (при измерении SIO2 на Si с помощью объектива с 15-кратным увеличением)

Воспроизводимость (ð)            

  • 0,1 нм (толщина пленки: от 5 нм до 3 000 нм)                           
  • 0,03 %  (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)                              
  • 0,2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм;  метод P&V)
Характеристики
Основные
Производитель   SCREEN
Страна производитель Япония
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!