Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Автоматическая система для работы с резистами SUSS Gamma

  Автоматическая система для работы с резистами SUSS Gamma
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Система SUSS Gamma – полностью автоматическая, что обеспечивает гибкость, чистоту и надежность процессов нанесения фоторезиста, бензоциклобутена (BCB) или полиимидов. Система объединяет в себе высокую производительность с низкой стоимостью эксплуатации, что позволяет ее применять не только в MEMS и Advanced Packaging, но и в оптоэлектронике

 

Основные возможности:

  • Компактная кластерная архитектура с роботом, расположенным по центру и модулями процессов, расположенными вокруг него.
  • До трех наносящих/проявляющих модулей
  • До трех температурных стеков, в каждом из которых до шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
  • Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
  • Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим изменением крепления между размерами подложек
  • Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от 2 до 6 дюймов
  • Параллельная потоковая функциональность даже с разными размерами подложек для оптимального использования мощностей системы
  • Технология GYRSET – вращающийся купол для равномерного нанесения по высокой топографии
  • Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
  • Очистка края
  • Нанесение резиста струйным способом и спреем для высокой равномерности распределения
  • Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM
Характеристики
Основные
Производитель   SÜSS MicroTec
Страна производитель Германия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!