Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250)

  Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250), фото 1
 Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250), фото 2
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной LRD-250 с марта 2016 года поставляется SMD-200

Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй.

 

Возможности:

  • Сенсорный дисплей
  • До 50 рецептов по 24 шага в каждом
  • Закрытая чаша для проявления
  • Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
  • Возможность подогрева танка с проявителем (2 литра)
  • Подающая рука с электрическим приводом
  • До 4 подающих линий под разные проявители
  • На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
  • Механический зажим подложек
  • Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
  • Два варианта - в напольном столике или для встраивания

 

Опции:

  • Дополнительные линии для проявителей (до четырех)
  • Система подогрева проявителей
  • Сопла из пластика от 0,3 до 0,5 мм
  • Сопла из нержавеющей стали от 0,3 до 0,8 мм

 

Параметры процессов:

  • Скорость до 3000 об/мин
  • Ускорение 160 об/мин/сек2

 

Требования по подключению:

  • 240 В переменного тока 50/60 Гц, 16А
  • Сжатый воздух (6 бар)
  • Азот (4 бара)
  • Деионизированная вода (3 бара)
  • Вытяжкка диам. 76 мм (40-60 м3/ч)

 

Размеры и вес:

  • 850х750х1320 мм
  • 130 кг

 

Комплектующие:

  • Прецизионные дозирующие помпы Sawatec
Характеристики
Основные
Производитель   Sawatec
Страна производитель Швейцария
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре