Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec SM-200 (LSM-200)

  Центрифуга для нанесения фоторезиста Sawatec SM-200 (LSM-200), фото 1
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Центрифуги SM-200 являются оптимальным выбором для процессов полуавтоматического нанесения тонких слоев. Они используются для подложек с очень низкими поверхностными структурами или без них. Все коммерческие фоторезисты и покрывающие материалы наносятся однородно и равномерно на поверхность полупроводниковых пластин размером до 200 мм (8 дюймов) или подложки 150х150 мм.

Центрифуга может быть выпущена для обработки пластин 250/300/600 мм (по запросу) 

Система RCCT (технология круглой закрытой камеры) эффективно уменьшает завихрение воздуха при вращении подложек и улучшает равномерность нанесения, поскольку атмосфера в закрытой камере быстрее насыщается растворителем и резист застывает медленнее, что приводит к более однородному процессу нанесения и значительной экономии материалов.

Установки линейки SM демонстрируют чрезвычайную убедительность благодаря высокой степени равномерности и стабильности нанесения в сочетании с простотой эксплуатации и удобством использования. Для уменьшения необходимых усилий по очистке рабочей камеры компания SAWATEC разработала универсальный и доступный защитный вкладыш для чаши (поставляется по запросу). Его можно легко извлечь и утилизировать после завершения процесса. Высококачественная конструкция сводит необходимость в техобслуживании к минимуму. Таким образом, центробежные модули компании SAWATEC являются преимущественным выбором для использования в лабораториях, в научных разработках, пилотных проектах и НИИ. 

Высокоточные инструменты доступны как в виде мобильного кабинета, так и во встраиваемой версии.


Характеристики (базовая конфигурация)

  • Создание до 50 программ с 24 шагами в каждой
  • Функция быстрого запуска для повторяющихся процессов
  • Понятная и доступная конфигурация процесса с помощью сенсорного экрана
  • Параметры процесса: скорость, ускорение, время
  • Возможность выбора направления движения 
  • (по часовой, против часовой стрелки)
  • Система RCCT (круглая закрытая камера)
  • Динамическая распыляющая рука с подключением до 4 линий
  • Ручная загрузка и разгрузка подложек
  • Фиксация подложек с помощью вакуума и защитная блокировка
  • Звуковой сигнал по завершении процесса

 

Производительность

  • Диапазон скорости: 1 - 6’000 об/мин. +/-1 об/мин.
  • (в качестве опции: 10’000 об/мин. для пластин меньше 8 дюймов)
  • Расхождение между заданной и фактической скоростью вращения < +/-1%
  • Ускорение: 0 – 6’000 об/мин. за 0,6 сек.
  • Задержка: 6’000 об/мин. – 0 за 0,6 сек.
  • Время обработки до 9’999 секунд с шагами 0,1 сек.
  • Время дозирования материала 999 секунд/сегмент
  • Диапазон вращения держателя

 

Для получения идеальных результатов нанесения мы предлагаем держатели полупроводниковых пластин различных форм и размеров. В зависимости от случая применения используются одинарные или двойные держатели с оптическим центрирующим устройством. Чтобы исключить возможность загрязнения обратной стороны подложки, чрезвычайно важно выбрать оптимальный размер держателя и его конструкцию. Замена держателей производится чрезвычайно просто и не требует специального инструмента. 

  • Вакуумный держатель для кусочков
  • Вакуумный держатель для пластин диаметром от 1” до 3”
  • Вакуумный держатель для пластин диаметром от 100 мм (4”) до 200 мм (8”)
  • Вакуумный держатель для пластин от 100x100 мм (4”x4”)
  • Вакуумный держатель для пластин от 125x125 мм (5”x5”)
  • Вакуумный держатель для пластин от 150x150 мм (6”x6”)
  • Держатели по индивидуальному дизайну

 

Дополнительные функции (опции)

  • Автоматическая система распыления, стеклянный шприц CDS-50 объемом 50 мл
  • Удаление наплывов материала с края пластины (EBR круговое, EBR круговое и линейное)
  • Автоматическая очистка форсунки с помпой для растворителя FP-20
  • Дополнительная распыляющая линия с точной дозирующей помпой GSP-98
  • Ножной переключатель Пуск/Стоп для простоты эксплуатации (длина кабеля 1,8 м)
  • Защитный вкладыш чаши из ПЭ или алюминия
  • Устройство для совмещения полупроводниковых пластин 2” – 8” (круглое)
Круговое и линейное удаление наплывов с края
 
Дополнительная линия распыления с дозирующей помпой GSP-98
 
Автоматическая очистка форсунки

 

Конструкция и размеры

 

  • Передвижной кабинет из электрополированной нержавеющей стали
  • Рабочая чаша из ПЭТФ для высокой степени совместимости с материалами
  • Отсутствие брызг фоторезиста благодаря встроенной защитной муфте из ПЭТФ
  • Стеклянная передняя дверца для наблюдения за процессом
  • Высокоточный, высокодинамичный серводвигатель переменного тока
  • Размер шкафа: 850 x 750 x 2331 мм (Д x Ш x В)
  • Вес: прим. 220 кг
 
 
 
 
 

 

Комплектующие:

Прецизионные дозирующие помпы Sawatec

 

Характеристики
Основные
Производитель   Sawatec
Страна производитель Швейцария
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре