Продавец Theseus Lab | Научное, производственное, лабораторное оборудование | Поставки по Беларуси развивает свой бизнес на Deal.by 6 лет.
Знак PRO означает, что продавец пользуется одним из платных пакетов услуг Deal.by с расширенными функциональными возможностями.
Сравнить возможности действующих пакетов
Начать продавать на Deal.by
Корзина
55 отзывов
+375 (29) 640-41-26
Научное, производственное, лабораторное оборудование
Наличие документов
Знак Наличие документов означает, что компания загрузила свидетельство о государственной регистрации для подтверждения своего юридического статуса компании или индивидуального предпринимателя.
Корзина
Автоматическая зондовая станция MPI TS2500

Автоматическая зондовая станция MPI TS2500

  • Под заказ

Цену уточняйте

+375 (29) 640-41-26
Описание
Характеристики
Информация для заказа

Описание:

Автоматизированная зондовая станция для пластин размером до 200 мм. Для проведения серийных испытаний на высокой частоте.

 

Основные возможности:

  • Измерения на высокой частоте до 67 ГГц и 4-портовая топология
  • Одновременные измерения на постоянном токе DC-IV / постоянном токе и постоянном напряжении / Pulsed-IV
  • Обеспечиваемая надежность - 24/7
  • Простая фронтальная загрузка одной пластины
  • Большой зондовый стол с максимум 4х ВЧ микопозиционерами или стандартным 4.5” держателем проб-карт
  • Двойная рука робота и встроенное приспособление для предварительного совмещения для обеспечения высокой степени производительности
  • Обеспечиваются различные функции держателей и большой выбор оснастки
  • Стандартная камера для внеосевого совмещения полупроводниковой пластины
  • Дополнительная камера держателя для верхнего обзора при совмещении зонда и платформы
  • Специальная функция для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами

 

Устройства совмещения

Технические характеристики камеры внеосевого совмещения​

Количество пикселей

2 MP 

Оптическое разрешение 

1296 x 966 

Область обзора

4.8 x 3.6 мм 

Освещенность

кольцевое освещение + коаксиальное 

 

Технические характеристики дополнительной камеры верхнего обзора

Количество пикселей

2 MP 

Оптическое разрешение

1296 x 966 

Область обзора

2.4 x 1.8 mm 

Освещенность

кольцевое освещение

 

Камера внеосевого совмещения п/п пластин
 
 
Дополнительная камера верхнего обзора держателя для совмещения зонда и платформы

Программное обеспечение для управления зондом

Технические характеристики

Операционная система 

Microsoft Windows 7 

Удаленное взаимодействие 

GBIP и LAN

USB 2.0

4

Кромкоискатель (дополнительно)

поддерживается

 

Программное обеспечение для управления зондом

 

Платформа держателя

Технические характеристики

Материал

никелированная сталь

Расстояние между держателем и платформой

29 мм

Функциональная возможность

настройка проб-картой и микропозиционерами

Максимальное кол-во микропозиционеров

4 ВЧ микропозиционера

Обычная установка с ВЧ зондами 26 ГГц TITAN
 
 
Схема зондовой платформы


Загрузка полупроводниковых пластин

Технические характеристики

Размер п/п пластины

100, 150, 200 мм (4, 6, 8 дюймов)

Тип кассеты

Semi E1

Вместимость кассеты

2

Время загрузки первой пластины

50 сек

Время замены пластины

20 сек

Функция замены тонкой пластины 

Логический способ подъема тонкой пластины

Поддержка п/п пластины

Традиционная и опускание тонкой пластины на расстояние до 50 мкм

Устройство предварительного совмещения

Оптическое, опорные прорези и фаски

Устройство считывания ID пластины (дополнительно)

оптическое, настройка сверху или снизу

Сканирование пластины

Лазерное сканирование для индексации пластины

Кассетная станция TS2500 поддерживает максимум две кассеты для пластин размером до 200 мм и максимум три кассеты для пластин размером до 150 мм

 

Держатели без контроля температур

RF держатели п/п пластин размером

 

150 мм

200 мм

Соединение

коаксиальный BNC (f)

коаксиальный BNC (f)

Диаметр

150 мм с 2 интегр. доп. областями

210 мм с 2 интегр. доп. областями 

Материал

Никелированный алюминий (гладкий, отверстия 0.5 мм)

Никелированный алюминий (гладкий, отверстия 0.5 мм)

Поверхность держателя

Плоская, диаметр отверстий в  центральной части 0.5 мм

Плоская, диаметр отверстий в  центральной части 0.5 мм

Отверстия для подачи вакуума (диаметр)

3, 27, 45, 69, 93, 117, 141 мм

3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194  мм

Включение подачи вакуума

Ручной переключатель между центральными (4) отверстиями, 50, 100, 150 мм (2, 4, 6 дюймов)

Ручной переключатель между центральными (4) отверстиями, 100, 150, 200 mm (4, 6, 8 in)

Поддерживаемые размеры DUT

Единичные DUT размером 4 x 4 мм пластины  50 мм (2 дюйма) до 150 мм (6 юймов)* 

Единичные DUT размером 4 x 4 мм или пластины 100 мм (4 дюйма) до 200 мм (8 дюймов)*

Плоскость поверхности

≤± 5 мкм

≤± 5 мкм

Жесткость

< 15 мкм / 10 N по ребру

< 15 мкм / 10 N по ребру

Штифт подъема

9

13

* Тестирование единичных DUT требует больше вакуума в зависимости от условий тестовых измерений.


Дополнительный держатель

Количеств 

2 дополнительных держателя

Положение 

на передней стороне основного держателя

Размер подложки (Ш x Д)

максимум 25 x 25 мм (1 x 1 дюйм)

Материал

керамика, материал, поглощающий RF с целью обеспечения точной калибровки

Плоскость поверхности

≤± 5 мкм

Управление

независимое от держателей

 

 

Позолоченный RF держатель для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами

 

Держатели без контроля температуры для пластин размером до 200 мм

Технические характеристики интегрированной технологии MPI ERS

 

20 °C до 200 °C

20 °C до 200 °C

20 °C до 300 °C

Соединение 

Коакс. BNC (f)

Триакс. Кельвин. (f)

Триакс. одиночн. (f)

Способ терморегулировки 

Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель

Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель

Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель

Хладагент

Воздух (обеспечивается заказчиком)

Воздух (обеспечивается заказчиком)

Воздух (обеспечивается заказчиком)

Наименьший шаг выбора температур

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

Разрешение отображения температуры держателя

0.01 °C

0.01 °C

0.01 °C

Функция внешнего сенсорного  устройства отображения

Да

Да

Да

Температурная стабильность

±0.08 °C

±0.08 °C

±0.08 °C

Точность температур

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

Способ управления

DC/PID с низким уровнем шума

DC/PID с низким уровнем шума

DC/PID с низким уровнем шума

Интерфейсы

RS232C

RS232C

RS232C

Покрытие поверхности держателя

Никелированное, перфорированное

Никелированное, перфорированное

Позолоченное, перфорированное

Датчик температур

Pt100 1/3DIN, 4-проводной

Pt100 1/3DIN, 4-проводной

Pt100 1/3DIN, 4- проводной

Температурная однородность

< ±0.5 °C

±0.5 °C

< ±0.5 °C при  20 до 200 °C 

< ±0.5 °C при > 200 °C 

Плоскость поверхности и  
параллельность основания

< ±10 мкм

< ±10 мкм

< ±10 мкм

Скорость нагревания и охлаждения

20 до 200 °C < 15 мин. 

200 to 20 °C < 20 мин

20 до 200 °C < 25 мин. 

200 до 20 °C < 25 мин

20 до 300 °C < 30 мин. 

300 до 20 °C < 30 мин

Электроизоляция коакс. BNC (f)

> 10 T Ω при 25 °C 

> 300 G Ω при 200 °C

нет данных

нет данных 

Утечка @ 10 V 
Кельвин. триаксиальный (f)

нет данных

< 15 fA при 25 °C 

< 30 fA при 200 °C 

< 15 fA при 25 °C 
< 50 fA при 300 °C 

Емкость

< 900 pF

нет данных

нет данных

Максимальное напряжение между верхней поверхностью держателя и заземлением

500 V DC

500 V DC

500 V DC

 

Стандартное время перехода

 

Технические характеристики

Держатель по оси XY (программируемый)

Длина хода

298 мм x 350 мм (11.7 x 13.7 дюймов)

Разрешение

0.1 мкм

Точность

± 4.0 мкм

Повторяемость

± 2.0 мкм

 

Держатель по оси Z (программируемый)

Длина хода

16 мм (0.6 дюймов) 

Разрешение

0.2 мкм

Повторяемость

± 1.0 мкм

 

Держатель по углу (программируемый)

Длина хода

± 5.0° 

Разрешение

0.00125° 

Точность

3.0 мкм (измеряется на кромке держателя пластин размером до 200 мм

 

Требования к оборудованию

Зондовая установка в целом

Напряжение

110/120/200/230 V AC 50/60 Hz 

Вакуум

< -0.7 бар при 10LPM

Сжатый воздух

4.0 – 6.0 бар при 2LPM

 

Габариты зондовой установки

Характеристики

Габариты станции (Ш x Г x В)

1930 x 1460 x 1845 мм (76.0 x 57.5 x 72.6 дюймов)

Масса

900 кг

 

 

Соблюдение нормативных требований

Сертификат: CE

 

Комплектующие:

Зондовые головки
 
Микропозиционер MP25
 
Микропозиционер MP40
Микропозиционер MP50 
Микропозиционер MP60
Микропозиционер MP60-MR

 

 

Микропозиционер MP80
 
Микропозиционер MP80-DX
 
 
 

 

Основные
Страна производительТайвань
Пользовательские характеристики
ПроизводительMPI
  • Цена: Цену уточняйте
Автоматическая зондовая станция MPI TS2500Автоматическая зондовая станция MPI TS2500
Под заказ
Цену уточняйте
+375 (29) 640-41-26