Корзина
17 отзывов
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE

  Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Установка VPE предназначена для травления жертвенных слоев оксида кремния на пластинах в парах фтороводородной кислоты, используется в производстве полупроводниковых приборов.

Фторводородная кислота - это идеальный травитель для все типов оксида кремния, используемый в микрообработке. Широко применяется благодаря высокой скорости травления и высокой избирательности в отношении к кремнию. Типично применение систем травления в плавиковой кислоте является удаление жертвенных оксидных слоев в производстве МЭМС. Однако, что характерно для жидкофазного травителя, есть высокий риск прилипания к подложке подвижных структур из-за эффекта поверхностного натяжения.

Компания Idonus решила эту проблему, системы травления Idonus работают в паровой фазе. Система травления в парах фтороводородной кислоты превосходно приспособлена для поверхностной микромеханики, изготовления МЭМС КНИ, химической резки пластин, утонения и многих других приложений.

Травления в парах плавиковой кислоты - это практически сухой процесс. Нагревая пластину можно контролировать скорость травления. Т.к. пластины не контактирует с жидкостью становиться возможным отделение отдельных элементов МЭМС. Стандартная скорость травления 4-10 микрон/час.

 

Основные возможности:

  • Безопасная работа с кислотой
  • Возможность повторного использования кислоты
  • Простой механизм фиксации пластин
  • Идеальна для любого размера пластин
  • Защита задней стороны пластины
  • Низкая стоимость

 

 

Система доступна в различных версиях, для обработки пластин различного диаметра 4", 6" и 8".

До травления: 
100 мм кремниевая 
пластина со слоем термического оксида 1 микрон.

После 25 минут: 
Внутренняя часть 
имеет цветовую индикацию 
гомогенности травления 

После 30 минут: 
Часть оксида стравилось. 

После 35 минут: 
Вес оксид был стравлен с 80% диаметра пластины 

 

Описание установки.

Установка HF VPE состоит из реакционной камеры и держателя пластин. Нагревательный элемент встроен в держатель пластин. Он контролирует температуру поверхности изделия, подвергаемого травлению.

Фиксацию пластин можно осуществить двумя способами: 

  • Пластины можно зафиксировать механически при помощи зажимного кольца. Винтовое соединение расположено на задней стенке установки, которая никогда не попадает в прямой контакт с парами кислоты. Три гайки завинчиваются легко даже в защитных перчатках. 
  • Второй способ - это электростатическая фиксация. На нагревательном элементе могут фиксироваться отдельные чипы (больше 5x5 мм2), а также пластины. Большая площадь тыльной стороны пластины защищена от травления. 

Жидкая кислота заливается в реакционную камеру. Реакционная камера закрывается держателем пластин. Кислота испаряется при комнатной температуре, процесс травления начинается самопроизвольно. Ход травления контролируется температурой пластины, которая может быть задана в диапазоне от 35°C до 60 °C. 

По завершению процесса кислоту можно хранить для повторного использования в герметизирующемся контейнере. Переливание жидкости осуществляется очень просто - посредством опускания присоединенного резервуара при помощи ручки. Под действием силы тяготения кислота переливается в резервуар и закрывается клапаном. Повторное наполнение кислотой производится путем открывания клапана и поднятия ручки. Кислота перетекает в реакционную камеру. Кислота может быть использована для травления многократно, пока не возникнет необходимость ее замены.

 

 

Фиксирующее кольцо механическое.

Держатель пластин с механическим зажимом для фиксации 100 мм пластин, Пластина фиксируется 6 клипсами для увеличения области травления

Система травления в парах кислоты. 
Система травления в работе.

 

Применение установки.

Отделение элементво МЕМС  

  • Утонение структур 
  • Химическая резка структур на КНИ подложке  
  • Травление переднего слоя SiO2 (задний слой защищен во время процесса)

 

Особенности: 

Регулируемая скорость травления от 0 до 10 микрон/час 

Структура кремния на КНИ подложке. 
Отделение SiO2 точно контролируется. 

  
Изготовление МЕМС.  

 

Электростатический держатель пластин

Такой держатель является чрезвычайно полезным в НИОКР, где работа над целой пластиной не всегда возможна. Электростатическое крепление чипов подходит для процессов скрайбирования МЭМС до травления в парах в плавикой кислоте. Изменяя классическую последовательность изготовления МЭМС, становиться возможным изготовить МЭМС с очень мягкой подвеской.

Использовать электростатический держатель очень просто. Чипы располагают на поверхности держателя пластин, при включении пультом управления, электростатическая сила прижимает чипы. Сила электростатического прижима может быть скорректирована. 

Защитное кольцо и Кольцо адаптер для держателя пластин

Защитное кольцо помещается на рабочую камеру, защищая от паров кислоты. Сетка кольца улавливает отделенные кислотой детали, не прикрепленные к ручке. Пары кислоты конденсируются на сетке. Не прикасайтесь к ней без защиты.

Адаптер для держателя пластин используется для работы с маленькими пластинами, такой адаптер можно использовать для держателя пластин на 150 и 200 мм.

 

Характеристики
Основные
Производитель   Idonus
Страна производитель Швейцария
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...