Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка формирования пористого кремния MOT μPor

  Установка формирования пористого кремния MOT μPor, фото 1
 Установка формирования пористого кремния MOT μPor, фото 2  Установка формирования пористого кремния MOT μPor, фото 3
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния. 

Главный бак системы оборудован патрубками для постоянного безопасного отвода HF-пара. Для прямого слива HF установлены фторопластовые вентили. Имеется возможность установки оптического окна для формования с участием света. 

Окно изготовлено из устойчивого к HF сапфирового стекла c кварцевыми дисками в качестве защиты от растрескивания и устанавливается в герметичный фланец. В других случаях устанавливается заглушка из непрозрачного полипропилена. Пластина устанавливается в заменяемый держатель и закрепляется двойными уплотнительными кольцами, разделяя бак на две ванны. Далее держатель фиксируется пневматикой. После этого обе ванны с HF изолируются от электричества. 
Два платиновых сетчатых электрода, по одному на ванну, контактируют с пластиной с обоих сторон. Для достижения равномерности эл. поля используются электроды одинакового размера с пластиной. Если требуется полное отсутствие ионов металла в рабочем, поле, электроды выполняются из кремния. При необходимости возможна рециркуляция HF с помощью мембранной помпы. Это позволяет жидкости остывать за счет теплового обмена. Доступны индивидуальные решения по спецификациям заказчика.

 

Основные возможности:

  • Формирование пористого кремния
  • Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
  • Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
  • Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
  • Постановка и сдача процесса под задание заказчика

 

Корпус

  • Материал: стандартно полипропилен белый, дополнительно PVDF
  • Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный ПВХ.

 

Стандартные компоненты

  • Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта
  • Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
  • Помпа: изготовлена из пластика PP, опц. PVDF или PTFE
  • Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF или PTFE 
  • Трубопровод из полипропилена, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek 
  • Панель управления: PLC, опционально компьютерное управления

 

Элементы управления, электронные компоненты и пневматика

Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.

 

Дополнительные опции

  • Автоматические манипуляторы 
  • Интеграция ванн предварительной и пост обработки
  • Ламинарный шкаф
  • Быстрое подключение для слива жидкостей
  • Работа с электролитами и возможность включения процессов
  • Интерфейс для работы с данными о процессе
  • Индивидуальные решения

 

Модуль очистки

  • Промывочный модуль: стандартная стоп-ванна, ванна быстрого отмыва.
  • Модули просушки: стандартные модули центробежной отмывки и сушки пластин.

 

Дополнительные опции для процесса

  • Технологическая камера с поддержкой нескольких процессов
  • Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс
Характеристики
Основные
Производитель   MOT
Страна производитель Германия
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...