Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec CLUSTERLINE 200 II

  Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec CLUSTERLINE 200 II, фото 1
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Универсальная кластерная система

Открытая архитектура системы CLUSTERLINE 200 II позволяет легко конфигурировать ее под комплекс таких процессов как PVD, PECVD и мягкое травление. Система позволяет работать с пластинами до 200 мм

 
 
 
 
 

Основные возможности:

  • Открытая архитектура системы, легко настраивается и расширяется
  • Вспомогательные функции модулей, включая выравнивание пластин, дегазацию и охлаждение
  • Двухкасетный шлюз – загрузка и выгрузка пластин без контакта с оператором, индикация выравнивания пластин
  • Робот-загрузчик на магнитном приводе
  • Возможность работы с подложками толщиной от 70 мкм до 6 мм
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров (4 ", 5", 6 " и 8")
  • Плоские магнетроны (RF и DC) с вращающейся магнитной системой обеспечивают высокую однородность пленки
  • Мягкий процесс ICP травления обеспечивает высокую скорость и высокую однородность даже при низких напряжениях смещения. Обработка подложек плазмой H2, N2 и O2
  • Охлаждаемый подложкодержатель (до -30 °С) позволяет травить подложки из органических материалов, таких как полиимид (PI) и полибензоксазол (PBO)
  • Модуль дегазации пластин обеспечивает высокую воспроизводимость результатов
  • До четырех магнетронных источников (постоянного тока и ВЧ) на одном кластерном модуле с возможностью одновременной работы
  • Контролируемая температура подложкодержателя от -30 до 800 ° C
Характеристики
Основные
Производитель   Evatec
Страна производитель Швейцария
Дополнительный сервис   Установка
Спецификация
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...