Корзина
48 отзывов
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Clusterline SPM

  Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Clusterline SPM, фото 1
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Универсальная кластерная система.

Система Clusterline SPM представляет собой самостоятельный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии. В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP - CVD, модуль RIE

 
 
 
 
 

Основные возможности:

  • Работа с подложками до 300 мм
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
  • Подвод до 8 технологических газов
  • Нагрев (до 800°С), охлаждение (до -25°С)
  • Возможность измерения напряжения на тонких подложках, чувствительных к температуре
  • Быстрый и удобный доступ к модулю
  • Независимая система откачки
  • Несколько установок Radiance SPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance BPM в одну производственную линию
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

 

Характеристики
Основные
Производитель   Evatec
Страна производитель Швейцария
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте