Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec SOLARIS S151

  Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec SOLARIS S151, фото 1
next previous
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Пропускная способность установки позволяет обрабатывать 1200 подложек размером до 8” за час. Обрабатываемые подложки могут быть как гибкими, так и жесткими. Основная область применения – производство сенсорных экранов, солнечных батарей и светодиодов. Установка SOLARIS S151 предлагает следующий комплекс процессов: магнетронное напыление, нагрев, отжиг, травление, «flash» - распыление (частицы распыляемого вещества дозировано подаются на сильно разогретую поверхность и испаряются мгновенно)

 
 
 
 
 
 

Основные возможности:

  • Гибкая конфигурация – каждая процессная камера отделена от соседних
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
  • Высокая пропускная способность – до 1200 подложек 8” в час
  • Равномерность слоя до ±2% за счет вращения подложек во время процесса
  • Максимальная область покрытия во время процесса – окружность диаметром 225 мм
  • Отжиг при температуре до 550°С
  • Чистка и активация поверхности с помощью травления
  • Простая интеграция в производственный процесс
  • Быстрая замена мишеней и защитных экранов
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска

 

 

Характеристики
Основные
Производитель   Evatec
Страна производитель Швейцария
Дополнительный сервис   Установка
Спецификация
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...