Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 901

  Установка вакуумного напыления Evatec BAK 901, фото 1
next previous
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

С размерами партий 51 (4”) и 23 (6”) подложки в стандартной калотте ВАК-901 предлагает на 25% больше производственной мощности чем ВАК-761. Большая вакуумная камера позволяет разместить различные комбинации электронных пушек, лодочек и ионного источника. При этом остается много свободного пространства для комфортного обслуживания источников напыления.
 

 
 
 
 
 
 
 

Основные возможности:

  • Работа с большими партиями
  • Электронно-лучевая пушка до 3-х
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
  • Кварцевый и оптический мониторинг
  • Анализатор остаточного газа
  • Оптическая пирометрия
  • Полная SECS GEM совместимость

 

Геометрия вакуумной камеры:

  • Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
  • Увеличенная дистанция – для Lift-off
  • Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
  • Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

 

Подложкодержатели:

  • Стандартные сферические
  • С возможностью переворота
  • Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
  • Разработка спец оснастки
Характеристики
Основные
Производитель   Evatec
Страна производитель Швейцария
Дополнительный сервис   Установка
Спецификация
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...