Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761

  Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761, фото 1
next previous
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Вакуумная система напыления BAK761 пользуется всемирной репутацией как эталон экономичного, массового производства, используемый в широком ряде приложений, требующих высокой точности в формировании покрытия и повторяемости в больших объемах производства. Ионное травление и термическое осаждение, “Lift-off” и напыление диэлектриков все это – может быть реализовано на одной гибкой платформе BAK-761

 

Основные возможности:

  • Электронно-лучевая пушка до 3-х
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом

 

Контроль процесса: 

  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска. 
  • Кварцевый и оптический мониторинг 
  • Анализатор остаточного газа 
  • Оптическая пирометрия 
  • Полная SECS GEM совместимость 

 

Геометрия вакуумной камеры: 

  • Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков 
  • Увеличенная дистанция – для Lift-off 
  • Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания 
  • Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock 

 

Подложкодержатели: 

  • Стандартные сферические 
  • С возможностью переворота 
  • Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения 
  • Разработка спец оснастки 

 

Производительность с различными типами подложкодержателей


Split Systems – Техническое решение компании Evatec


Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.

Основные возможности:

  • Высокая стабильность работы испарителя
  • Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением
  • Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды
  • Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание

 

Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)

 

Равномерности

Система

Пленка

Толщина
[нм]

Скорость
[нм/с]

По пластине
[%]

Пластина к пластине
[%]

Между процессами
[%]

BAK

Cu

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

NiCr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Cr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Ti

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Al

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Ag

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Au

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Cr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Характеристики
Основные
Производитель   Evatec
Страна производитель Швейцария
Дополнительный сервис   Установка
Спецификация
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...