Корзина
23 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Платформа для временного сращивания пластин SUSS XBS300

  Платформа для временного сращивания пластин SUSS XBS300, фото 1
 Платформа для временного сращивания пластин SUSS XBS300, фото 2  Платформа для временного сращивания пластин SUSS XBS300, фото 3  Платформа для временного сращивания пластин SUSS XBS300, фото 4
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Решение для временного сращивания пластин, для процессов 3D-интеграции в производстве логических устройств и устройств памяти.

Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин. Платформу для работы с пластинами 200 / 300 мм можно конфигурировать для уменьшения эксплуатационных издержек и максимального увеличения гибкости процесса.

XBS300 поддерживает все ключевые шаги процессов временного сращивания: формирование разделительного слоя (нанесение и/или плазменное осаждение), адгезионное покрытие, сращивание пластин с низким усилием, УФ- или тепловое отверждение и охлаждение.   Благодаря гибкой конфигурации система XBS300 может обрабатывать все имеющиеся на рынке адгезивы для временного сращивания пластин.

 

Основные возможности:

  • Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
  • Работает со всеми доступными адгезивами
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве
  • Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
  • Полностью автоматическая платформа
  • До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
  • До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
  • Измерение толщины пластины
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства

 

Особенности:

Вам необходимо

Решения XBS300

Гибкость процесса

  • Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
  • Работает со всеми доступными адгезивами
  • Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве

Производственные возможности

  • Полностью автоматическая платформа
  • До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
  • До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
  • Измерение толщины пластины
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства

Низкие эксплуатационные затраты

  • Небольшое основание
  • Высокая пропускная способность
  • Отличная стабильность температуры и силы сращивания для обеспечения макс. производительности
  • Наращиваемая и модернизируемая архитектура

Выбор поддерживаемых систем: Brewer Science ZoneBOND*, Dow Corning, Dow Electronic Materials, HD DuPont, Thin Materials (TMAT) и другие поставщики. 

* Для использования технологии ZoneBOND требуется отдельное лицензионное соглашение между покупателем и компанией Brewer Science. 

 

Модуль ввода/вывода (I/O)

К раме системы XBS300 можно напрямую подключить до 2 модулей загрузочных портов. С помощью отдельного модуля EFEM установку сращивания можно оснастить макс. 4 портами. Модули загрузочных портов имеют опцию картирования пластины и считывания идентификатора РЧ и способны обрабатывать стандартные устройства FOUP или FOSB 300 мм, а также пластины 200 мм и адаптеры кассет.

 

Интеграция в рабочий процесс

Система перемещения установки XBS300 основана на надежном высокоскоростном шестикоординатном роботе со встроенной опцией переворота пластины. Совмещение пластин осуществляется с помощью поворотной установки совмещения с камерой, которую можно сочетать с ID-считывателем.

 

Модуль нанесения методом центрифугирования

Принцип GYRSET позволяет добиться однородного покрытия на пластинах 200/300 мм с минимальным расходом материала. Во время нанесения процесс вращения с закрытой крышкой создает уникальную безвихревую среду, которая эффективно препятствует загрязнению обратной стороны. 
Спиральное распыление на модуле GYRSET для получения оптимальной однородности нанесения

 

Этажерочный модуль для рабочих камер, нагревательных и охлаждающих плит

Этажерочный модуль можно объединить с 4 рабочими камерами или с 7 кассетами охлаждающих или нагревательных плит. Рабочие камеры, нагревательные и охлаждающие плиты можно объединить в одном этажерочном модуле для выполнения требований процесса.

 

Встроенные измерения

Встроенная станция измерения толщины состоит из 2 ультравысокоточных лазерных датчиков смещения, которые анализируют верхнюю и нижнюю поверхность пластины для расчета её толщины. Многоточечное измерение выполняется с помощью сканирования по площади пластины. Номера точек измерений для пластин со сформированными приборами, опорной подложки и сэндвича программируются с помощью ПО.

 

Технические характеристики :

Общие характеристики

Размер подложки

пластины 200 / 300 мм; совместимость с нестандартными подложками (201 / 301 мм) 

Загрузочный порт

Полностью автоматический загрузочный порт FOUP, FOSB со встроенным считывателем идентификатора РЧ, адаптер кассет и пластин 200 мм

Перемещение пластин

Шестикоординатный робот  со встроенной функцией переворота пластин, установка предварительного совмещения с камерой, дополнительный ID-считыватель для пластин

Пользовательский интерфейс

ОС Windows XP с ПО SUSS MMC, сенсорный экран и клавиатура с указывающим устройством

Обработка подложек

Полностью программируемое кластерное устройство с опциями производственной автоматизации

сертификаты

Semi S2 и S8

SC300 – модуль нанесения

Основной модуль

Запатентованный модуль нанесения GYRSET с держателем с закрытой крышкой

Контроль скорости вращения

± 1 об/мин с цифровым контроллером двигателя

Линий распыления

до двух рук
до трех 3 линий для подачи адгезива с опцией контроля температуры адгезива для рук подачи адгезива

до трех линий проявителя для рук проявления (такие как подача растворителя, EBR и очистки держателя)

Опции

широкий выбор насосов и систем распыления, удаление наплыва резиста с кромки и промывка обратной стороны, расходомеры

PL300T – Модуль плазменного осаждения

Основное устройство

Вакуумная камера для процесса плазменного осаждения

Газы

запатентованный газ TMAT, O2, до 2 чистящих газов

Газовые контроллеры

4 MFC

Источник плазмы

внутренний генератор, 13.56 МГц

Настройка

автоматическая

Контроль температуры держателя

охлажденная вода

Доступ к камере

VAT-дверца с продувкой N2

Этажерочный модуль - рабочая камера, нагревательная и охлаждающая плиты

Рабочая камера

Процессы сращивания

Настройка A: ультранизкое усилие (на основе кремния и УФ-отверждаемых адгезивов)

Настройка Б: термокомпрессионное сращивание с низким усилием

Температура LF300

до 250 °C

Мин. базовый вакуум

< 5 мбар

Вакуумирование

< 60 сек

Сила сращивания (при 300мм)

Настройка A: 20 Н - 500 Н 

Настройка B: 300 Н - 8 кН

Технологический газ

Стандартно N2, дополнительно 1 MFC

Совмещение

Межцентровое совмещение +/- 50 мкм Вращение бороздки 0.1°

Кол-во камер

до 4 камер LF300 на модуль

Тип камеры

Герметичная камера с вытяжкой N2

Нагревательная плита

Температура нагревательной плиты

до 250 °C 

опция: до 350 °C

Стабильность температуры

± 0.4 °C до 120 °C 

± 1 % > 120 °C

Способ спекания

Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором

Охлаждающая плита

Температура охлаждающей плиты

от 15 до 30 °C

Контроль температуры

± 0.2 °C

Способ охлаждения

Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором

Измерения

Измерение толщины

Лазерные датчики

Точность измерения

< 0.2 мкм

Кол-во точек измерения

Многоточечное, программируется

Опции

Очистка воздуха

Фильтрующие блоки
Ионизаторы
Автономная чистая комната

Коммуникации

Вакуум

мин. -0.8 бар, +/-5 %

Сжатый сухой воздух

8 бар, +/-10 %

Азот

8 бар, +/-10 %

Питание

Зависит от конфигурации

 

Характеристики
Основные
Производитель   SÜSS MicroTec
Страна производитель Германия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...