Корзина
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Горизонтальная система высокотемпературной обработки Centrotherm E-1200

  Горизонтальная система высокотемпературной обработки Centrotherm E-1200
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • +375172374211 доб. 418
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
      +375172374211 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Система Centrotherm E-1200 – это гибкая универсальная система высокотемпературной обработки, отвечающая требованиям многономенклатурного мелкосерийного производства. Centrotherm E-1200 отличается высочайшей надежностью, маленькой занимаемой площадью, высокой гибкостью и универсальностью.

  •  До 4-х кварцевых или карбидокремниевых реакторных камеры
  • Система разделения различных рабочих камер по типам проводимых в них процессов
  • Работа с различными типами пластин и подложек
  • Передовая система водяного охлаждения: отсутствие влияния температуры на соседние рабочие камеры, отсутствие потребления чистого воздуха из рабочего помещения

 Описание: http://www.ostec-micro.ru/uploads/e-1200.jpg

 

Области применения: 

Технологические процессы:

  • Диффузия
  • BBr3-, B2H6-легирование
  • POCL3-легирование
  • H2-, N2-отпуск
  • "Сухое"/"мокрое" окисление
  • Вулканизация
  • Активирующий отжиг
  • Насыщение кремнием
  • Азотирование
  • Спекание
     

Химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении (LPCVD):

  • Поликремниевые соединения
  • Поликремниевое легирование
  • Нитриды кремния
  • Оксинитриды
  • Поверхностное травление

Плазменное осаждение из газовой фазы (PECVD):

  • PECVD-оксидизация
  • PECVD-азотирование
  • PECVD-оксинитрирование

 

Технические характеристики системы:

Область применения

полупроводниковое кристальное производство

Размер нагревательной плиты

150-200 мм

Нагревательная система

3-х зонная, плоская зона диаметром 300 мм, с равномерностью +/- 0.5С

Рабочие газы

H2, Ar, O2, N2O, N2, SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2

Электропитание

55 кВт, 400В, 80А

Вода для охлаждения

50-70л в мин.

Сжатый воздух

600-1000 кПа

Выхлоп

400 м3/ч

 

 

 

Характеристики
Основные
Производитель   Centrotherm
Страна производитель Германия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре