Корзина
44 отзыва
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Установка быстрой температурной обработки SemiTEq STE RTA100

  Установка быстрой температурной обработки SemiTEq STE RTA100
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

  • предварительная откачка рабочей камеры с помощью мембранного насоса или спирального насоса (опция);
  • управление мощностью нагрева с помощью тиристорного регулятора;
  • автоматизация процесса откачки и газовой продувки камеры, позволяющая проведение процесса «по нажатию одной кнопки»;
  • возможность программирования «многостадийного» процесса отжига с помощью встроенного ПИД-контроллера;
  • контроль температуры рабочего столика с помощью двух термопар;
  • возможность установки оптического пирометра для дополнительного контроля температуры поверхности отжигаемой пластины (опция);
  • простота эксплуатации.

Установка STE RTA79 предназначена для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. Максимальный диаметр обрабатываемой пластины составляет 100 мм. Пластина (образец) загружается в камеру вручную через боковой фланец быстрого доступа и устанавливается на тепловыравнивающий столик из пиролитического графита, под которым находится нагреватель на основе системы линейных галогеновых ламп.

Конструкция установки позволяет проводить сравнительно кратковременные процессы с температурой до 900°С и максимальной скоростью достижения заданной температуры до 40°С/сек. Продолжительность процесса отжига при максимальной температуре составляет до 10 минут. Камера из нержавеющей стали герметична и имеет интегрированное водяное охлаждение стенок. Для наблюдения за процессом отжига в ней предусмотрено кварцевое смотровое окно (используется также для установки ИК-пирометра).

Режимы работы:

  • непрерывная продувка камеры инертным газом в ходе отжига образца, регулируемая с помощью ручного ротаметра;
  • режим с автоматического поддержания заданного уровня давления внутри камеры.
Характеристики
Основные атрибуты
Страна производитель Россия
Производитель   SemiTEq
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте