Продавец Theseus Lab | Научное, производственное, лабораторное оборудование | Поставки по Беларуси развивает свой бизнес на Deal.by 5 лет.
Знак PRO означает, что продавец пользуется одним из платных пакетов услуг Deal.by с расширенными функциональными возможностями.
Сравнить возможности действующих пакетов
Начать продавать на Deal.by
Корзина
55 отзывов
+375 (29) 640-41-26
Научное, производственное, лабораторное оборудование
Наличие документов
Знак Наличие документов означает, что компания загрузила свидетельство о государственной регистрации для подтверждения своего юридического статуса компании или индивидуального предпринимателя.
Корзина
Система плазменной обработки Nordson FlexTRAK-WF

Система плазменной обработки Nordson FlexTRAK-WF

  • Под заказ

Цену уточняйте

+375 (29) 640-41-26
Описание
Характеристики
Информация для заказа

Описание:

  • Две станции загрузки кассет, минимизирующие время простоя.
  • Легко настраиваемый механизм совмещения для работы с пластинами различного размера.
  • Надежный в эксплуатации автоматизированный процесс укладки подложек.
  • Встроенная система распознавания, обеспечивающая высокую надежность обработки пластин.
  • Компактная конструкция, минимизирующая площадь.
  • Очистка высокой равномерности и производительности.

Система плазменной обработки FlexTRAK-WF разработана для высокопроизводительной обработки полупроводниковых пластин в открытых кассетах и других плоских подложек диаметром от 3 до 8 дюймов (7,62 – 200 мм).

 

Область применения

Обработка пластин на операциях, предшествующих окончательному корпусированию, таких как корпусирование на уровне пластины, флип-чипа или традиционного корпусирования.

Очистка подложек

  • Удаление загрязнений перед изготовлением столбиковых выводов на пластине.
  • Удаление органических загрязнений.
  • Удаление фтористых и других галогенных загрязнений.
  • Удаление металлов и оксида металлов.
  • Улучшение адгезии пленок.
  • Очистка алюминиевых контактных площадок.

Травление подложки

  • Удаление остатков фоторезиста / BCB.
  • Формирование слоя диэлектрических слоев.
  • Удаление / травление фоторезиста.
  • Улучшение адгезии поверхности подложек.
  • Удаление излишков припоя и флюса с поверхности пластины.
  • Улучшение адгезии золота, столбиковых выводов припоя.
  • Снятие напряжения с пластины – для предотвращения поломки.
  • Улучшение адгезии поверхности пленок.
  • Очистка алюминиевых контактных площадок.

 

Спецификация

Размеры корпуса

Ш х Г х В – занимаемая площадь

1094 х 1170 х 1700 мм, с открытыми дверями при загрузке пластин 1094 х 1170 х 2185

Масса нетто

295 кг (650 фунтов)

Площадь очистки подложек

Справа, слева, с обратной стороны – 153 мм (6 дюймов); лицо – 914 мм (36 дюймов) минимум

Рабочая камера

Габариты

330 x 330 x 50 мм

Объем

5,5 литра

Различные конфигурации электродов

Размеры пластин: 150 мм, 200 мм и 300 мм

Электроды

Размеры действующих электродов – рабочая зона

305 х 305 мм

ВЧ Мощность

Стандартная Мощность

600 Вт

Частота

13,56 МГц

Контроль газов

Максимальное количество РРГ

4

Управление системой

Интерфейс

Управление контроллером (PLC) и ПК с тачскрином

Вакуумный насос

Сухой вакуумный насос

16 м куб. фт/мин, переменной частоты

Электропитание

220 В, 30 А, 50/60 Гц, 1Ø, 12AWG, 3W

Вакуумный Источник

-40 кПа

Соблюдение

Полу S2 / S8

Да

Наличие маркировки CE

Есть

Вспомогательное оборудование

Дополнительное оборудование

Азотный генератор, генератор водорода (необходимы дополнительные номера для дополнительных аппаратных). Скраббер

Перевозка

Размеры контейнера

1397 х 1067 х 2032 мм

Вес брутто

445 кг

Основные
Производитель  Nordson
Страна производительСША
  • Цена: Цену уточняйте
Система плазменной обработки Nordson FlexTRAK-WFСистема плазменной обработки Nordson FlexTRAK-WF
Под заказ
Цену уточняйте
+375 (29) 640-41-26