Продавец Theseus Lab | Научное, производственное, лабораторное оборудование | Поставки по Беларуси развивает свой бизнес на Deal.by 5 лет.
Знак PRO означает, что продавец пользуется одним из платных пакетов услуг Deal.by с расширенными функциональными возможностями.
Сравнить возможности действующих пакетов
Начать продавать на Deal.by
Корзина
55 отзывов
+375 (29) 640-41-26
Научное, производственное, лабораторное оборудование
Наличие документов
Знак Наличие документов означает, что компания загрузила свидетельство о государственной регистрации для подтверждения своего юридического статуса компании или индивидуального предпринимателя.
Корзина
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510

  • Под заказ

Цену уточняйте

+375 (29) 640-41-26
Описание
Характеристики
Информация для заказа

Описание:

  • Минимальные затраты на обслуживания для научно-исследовательских задач и пилотного производства
  • Превосходная равномерность распределения температуры и давления
  • Высокий выход годных благодаря автоматической системе клиновой компенсации
  • Полная совместимость со всеми системами серии EVG500
  • Высокая производительность  

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510 работает с пластинами до 200мм. Она может быть легко сконфигурирована под научно-исследовательские или производственные задачи. EVG510 обеспечивает полностью автоматический процесс сварки с ручной загрузкой и выгрузкой пластин. Модульная конструкция сварочных камер для 150мм и 200мм пластин обеспечивает совместимость со всеми системами EVG500, так же как с автоматической промышленной системой сварки пластин GEMENI. В дополнение EVG510 приспособлена для работы с наиболее сложными МЭМС применениями, требующими высокого вакуума и его прецизионного контроля.

 

Поддерживаемые технологии сварки

  • Анодная сварка
  • Термокомпрессионная сварка (стеклоприпой, эвтектика, металлическая диффузия, сварка с использованием полимерного клея)
  • Непосредственная сварка (SDB, SOI)
  • Низкотемпературная сварка пластин с предварительно активированной плазмой  поверхностью на установке EVG810
  • Конфигурация для сварки стеков из 2-х и 3-х пластин
  • Контроль температуры, контактного усилия, электрического напряжения и атмосферы

 

Дополнительные опции для совмещения пластин

  • Оснастка для механически совмещённых пластин
  • Оснастка для сварки многопластинчатых стеков
  • Совместимость с EVG620, EVG6200,
  • IQ Aligner, SmartView

 

Технические характеристики

 

EVG®510

 EVG®520IS

 EVG®540

EVG®560

GEMINI

Размер нагревателя=макс. размеру обраб. пластины

150 мм

*

*

*

*

*

200 мм

*

*

*

*

*

300 мм

 

*

*

*

*

Мин. размер обраб. пластины/подложки

С 150 ммнагревателем

Одиночные кристаллы

Одиночные кристаллы

50

50

50

С 200 ммнагревателем

100

100

100

100

100

С 300 ммнагревателем

 

 

200

200

200

Система совмещения и фиксации пластин

С 150 ммнагревателем

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

SmartView

С 200 ммнагревателем

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

SmartView

С 300 ммнагревателем

 

 

IQ, SmartView

IQ, SmartView

SmartView

Максимальное контактное усилие

3.5 кН, 7кН, 10кН

3.5 кН, 7кН, 10кН, 40кН, 60кН

Максимальная температура

550оС (650оС опционально)

550оС (600оС опционально)

Вакуум

1*10-3 мБар (стандартно), 1*10-5  мБар (опционально), дополнительные линии подачи газа (опция)

Электропитание для процесса анодной посадки

0-2000В/50мА

Загрузка пластин в камеру

ручная

ручная

3-осный робот

5-осный робот

5-осный робот

Полная программная совместимость с системой GEMINI

*

*

*

*

*

Максимальное количество камер сварки пластин

1

2

1

от 4 до 10

от 4 до 10

Область применения

Опытно-конструкторское производство

 

 

 

 

Мелкосерийное производство

 

 

 

Крупносерийное производство

Основные
Производитель  EVG
Страна производительАвстрия
  • Цена: Цену уточняйте
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510Полуавтоматическая система сварки пластин EVG510
Под заказ
Цену уточняйте
+375 (29) 640-41-26