Продавец Theseus Lab | Научное, производственное, лабораторное оборудование | Поставки по Беларуси развивает свой бизнес на Deal.by 5 лет.
Знак PRO означает, что продавец пользуется одним из платных пакетов услуг Deal.by с расширенными функциональными возможностями.
Сравнить возможности действующих пакетов
Начать продавать на Deal.by
Корзина
55 отзывов
+375 (29) 640-41-26
Научное, производственное, лабораторное оборудование
Наличие документов
Знак Наличие документов означает, что компания загрузила свидетельство о государственной регистрации для подтверждения своего юридического статуса компании или индивидуального предпринимателя.
Корзина
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS

  • Под заказ

Цену уточняйте

+375 (29) 640-41-26
Описание
Характеристики
Информация для заказа

Описание:

  • Новое ПО для контроля техпроцесса
  • Улучшенная эргономика
  • Возможность установки нескольких сварочных камер
  • Уменьшенная занимаемая площадь
  • Соответствие высоким стандартам безопасности

Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS обеспечивает полностью автоматическую сварку пластин с ручной загрузкой и выгрузкой. EVG520IS проста в управлении и обеспечивает высокую производительность. В систему входит встроенная станция охлаждение и хранилище для держателей и сваренных пластин.  

EVG520IS является лучшим решением для научно-исследовательских и производственных задач, поддерживает все технологии сварки пластин с контролем температуры, электрического напряжения, равномерности контактного усилия и рабочей атмосферы, обеспечивает быстрое вакуумирование  рабочей камеры, быстрый нагрев и охлаждение. Модульная конструкция сварочной камеры для 150мм и 200мм пластин обеспечивает совместимость с автоматической промышленной системой сварки пластин GEMENI.  

 

Поддерживаемые технологии сварки

  • Анодная сварка
  • Термокомпрессионная сварка (стеклоприпой, эвтектика, металлическая диффузия, сварка с использованием полимерного клея)
  • Непосредственная сварка (SDB, SOI)
  • Низкотемпературная сварка пластин с предварительно активированной плазмой  поверхностью на установке EVG810
  • Конфигурация для сварки стеков из 2-х и 3-х пластин 

 

Технические характеристики

Модель

EVG®510 EVG®520IS EVG®540 EVG®560 GEMINI

Размер нагревателя=макс. размеру обраб. пластины

150 мм

*

*

*

*

*

200 мм

*

*

*

*

*

300 мм

 

*

*

*

*

Мин. размер обраб. пластины/подложки

С 150 ммнагревателем

Одиночные кристаллы

Одиночные кристаллы

50

50

50

С 200 ммнагревателем

100

100

100

100

100

С 300 ммнагревателем

 

 

200

200

200

Система совмещения и фиксации пластин

С 150 ммнагревателем

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView

SmartView

С 200 ммнагревателем

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

EVG6200, IQ, SmartView

SmartView

С 300 ммнагревателем

 

 

IQ, SmartView

IQ, SmartView

SmartView

Максимальное контактное усилие

3.5 кН, 7кН, 10кН

3.5 кН, 7кН, 10кН, 40кН, 60кН

Максимальная температура

550оС (650оС опционально)

550оС (600оС опционально)

Вакуум

1*10-3 мБар (стандартно), 1*10-5  мБар (опционально), дополнительные линии подачи газа (опция)

Электропитание для процесса анодной посадки

0-2000В/50мА

Загрузка пластин в камеру

ручная

ручная

3-осный робот

5-осный робот

5-осный робот

Полная программная совместимость с системой GEMINI

*

*

*

*

*

Максимальное количество камер сварки пластин

1

2

1

от 4 до 10

от 4 до 10

Область применения

Опытно-конструкторское производство

 

 

 

 

Мелкосерийное производство

 

 

 

Крупносерийное производство

Основные
Производитель  EVG
Страна производительАвстрия
  • Цена: Цену уточняйте
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520ISПолуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS
Под заказ
Цену уточняйте
+375 (29) 640-41-26