Корзина
24 отзыва
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211

Установка чистки полупроводниковых пластин и подложек серии EVG®300

  Установка чистки полупроводниковых пластин и подложек серии EVG®300
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375 (29) 640-41-26
  • +375 (17) 237-42-11 доб. 418
  • Адрес и контакты
    • Телефон:
      +375 (29) 640-41-26
      +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      Pobřežní 249/46, Karlín, 186 00 Praha 8, Praha, Чехия
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Системы серии EVG®300 сконструированы для эффективной очистки полупроводниковых пластин и подложек от загрязняющих частиц. В полупроводниковом производстве эффективное удаление загрязнений с пластин является ключевым фактором, критически влияющим на качество будущих изделий. 


Полуавтоматическая система чистки пластин EVG®301 

Установки чистки пластин EVG могут включать в себя в комбинированных системах узлы совмещения и сварки пластин, тем самым, обеспечивая высокую производительность и качество получаемых изделий.  В установках серии EVG®300 применяется чистка деионизованной водой, чистка мегазвуком, возможно проведение щеточной очистки, а так же чистки химическими реактивами.


Автоматическая система чистки пластин EVG®320

  • Размеры пластин: 100-200мм/200-300мм
  • Виды чистки:
    • стандартная чистка деионизованной водой (реактивы опционально: NH4OH (концентрация < 2%), разбавленная соляная кислота)
    • мегазвуковая чистка (1 МГц, выходная мощность 30-60 Вт)
    • щеточная чистка (программирование давления щеток, скорости вращения, подачи воды и т.д.)
  • Ручная/автоматическая загрузка и предварительное совмещение с точностью:  X: ±20 мкм, Y: ±20 мкм, T: ±0.05°
  • Вакуумный вращающийся держатель: 0-3000 об/мин, разгон от 0 до 3000 об/мин за 5 сек
  • Система сушки центрифугой
  • Полипропиленовая камера (PFA по запросу)
  • Соответствие 1 классу чистоты помещения (класс 3 по ГОСТ Р ИСО-14644)
  • Вакуумный манипулятор для перемещения пластин с удержанием за обратную сторону (EVG®320)
  • Работа по заданным наборам параметров, управление с ПК

 http://www.ostec-micro.ru/uploads/evg_1.jpg

http://www.ostec-micro.ru/uploads/evg_2.jpg 

 http://www.ostec-micro.ru/uploads/evg_3.jpg

 http://www.ostec-micro.ru/uploads/evg_4.jpg

Характеристики
Основные
Производитель   EVG
Страна производитель Австрия
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте
Отзывы о товаре
Добавить отзыв

Отзывов пока нет, будьте первыми!

social-icon
Loading...