Корзина
44 отзыва
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин в кислотах SICONNEX Produce200 AcId

  Система жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин в кислотах SICONNEX Produce200 AcId
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

  • Автоматический ввод-вывод химических веществ 
  • 4 химических вещества в рамках одной последовательности 
  • Повторяемый контроль процесса 
  • Контур 1 м × 1,6 м 
  •  На 80% меньше воды 
  • На 80% меньше выбросов 
  • Герметичная система

 

Области применения:

  • Травление
  • Очистка
  • Снятие фоторезиста
  • SicoOzoneТМ

 

Технические характеристики:

  • Огнестойкая полипропиленовая рама (FRPP)
  • Возможность размещения рамы справа или слева (обслуживание с одной из сторон)
  • Камера вместимостью в 25 пластин (для 1 партии)
  • Камера вместимостью в 50 пластин (для 2 партий)
  • 1 рабочий ротор для отдельных подложек (2“-8“)
  • До 4 нагреваемых рабочих резервуаров с функциями рециркуляции
  • До 4 заливных емкостей с дозирующими насосами
  • Оптическая система обнаружения конечной точки
  • Интерфейс системы управления с сенсорным экраном
  • Ведение системного журнала и запись рабочих данных
  • Интерфейс SECS/GEM

Характеристики
Основные
Производитель   SICONNEX
Страна производитель Австрия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте