Корзина
52 отзыва
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Системы плазменной обработки Alpha Plasma Systems серия Q

  Системы плазменной обработки Alpha Plasma Systems серия Q
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Установки плазменной обработки серии Q производятся с кварцевыми рабочими камерами круглого сечения. Их основным применением является групповая обработка полупроводниковых пластин – сверхвысокая очистка, плазмохимическое травление, удаление фоторезиста, производство МЭМС.

В установках серии Q используется СВЧ-плазма (2,45 ГГц), влияние которой на сформированную полупроводниковую структуру крайне незначительно, что позволяет эффективно и безопасно использовать её для удаления фоторезиста, сохраняя при этом значительно высокую скорость травления. В качестве рабочего газа, как правило, используется кислород.

Диаметр кварцевых рабочих камер – 150, 240 и 310 мм. По индивидуальному заказу установки серии Q могут быть изготовлены с рабочими камерами других диаметров.

Кроме того, по запросу установки серии Q могут быть выпущены с генератором НЧ (40 кГц) и ВЧ (13,56 МГц) плазмы.

Другие доступные опции:

  • Подкатная тумба
  • Столик с подогревом
  • Столик с охлаждением
  • Клетка Фарадея
  • Увеличение диагонали дисплея блока управления

 

Технические характеристики

Параметры

Q150

Габариты рабочей камеры

Ø 145 мм / 260 мм

Внешние габариты

(Д х Ш х В), мм

500 х 550 х 370

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

До 40 (масляный)

До 35 (безмасляный)

Диаметр и количество обрабатываемых пластин

До 125 мм / 25 шт.

 

Параметры

Q240S

Габариты рабочей камеры

Ø 240 мм / 260 мм

Внешние габариты

(Д х Ш х В), мм

620 х 550 х 500

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

До 65 (масляный)

До 35 (безмасляный)

Диаметр и количество обрабатываемых пластин

До 150 мм / 25 шт.

 

Параметры

Q240

Габариты рабочей камеры

Ø 240 мм / 440 мм

Внешние габариты

(Д х Ш х В), мм

760 х 775 х 775

Генератор плазмы

2,45 ГГц, до 1200 Вт

Рекомендуемая производительность откачки, м3/час

До 65 (масляный)

До 120 (безмасляный)

Диаметр и количество обрабатываемых пластин

До 200 мм / 25 шт.

Характеристики
Основные
Производитель   Plasma Parylene Systems GmbH
Страна производитель Германия
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте