Корзина
52 отзыва
Научное, производственное, лабораторное оборудование
+375 29 6404126

Установка вакуумной герметизации UniTemp 2Z-HVS-100

  Установка вакуумной герметизации UniTemp 2Z-HVS-100
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +375 показать номер +375296404126
  • Контакты
    • Телефон:
      +375296404126
    • Контактное лицо:
      Дежурный специалист
    • Адрес:
      ул. Калинина, 7б, Минск, Беларусь
  • Производитель и гарантия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Установка вакуумной герметизации с двумя отдельными нагреваемыми зонами для подложек диаметром 100 мм.

Данные установки предназначены для проведения процессов герметизации (оплавления) МЭМС сенсоров в высоком вакууме до 10-6 млбар. Рабочая камера установки разделена на две независимые нагреваемые зоны: для корпуса сенсора и крышки, см. рисунок ниже. Верхняя и нижняя нагревательные плиты имеют независимый нагрев: верхняя плита нагревается до + 200⁰С, нижняя до +450⁰С. Одновременно можно проводить герметизацию до 6 корпусов. Установка имеет одну управляемую ручным электрическим расходомером газовую линию, что обеспечивает проведение процесса в среде газа. Одной из отличительных особенностей данных систем является возможность активации геттера. Установка проста в эксплуатации и имеет надежную конструкцию.

Отличительные особенности:

  • Нагрев с верхней и с нижней стороны
  • Возможность подключения до 4 линий подачи газа
  • Управление и программирование установкой с помощью встроенного PID контроллера
  • Оптический контроль процесса
  • 6 адаптеров диаметром 16 мм 
  • Программируемые профили температуры
  • Работа в атмосфере азота, кислорода, форминг газа
  • Возможность сохранения до 20 программ 100 шагов каждая

Области применения:

  • Герметизация/оплавление МЭМС сенсоров
  • Активация геттера 
  • Разделение компонентов при термической обработке в 2 рабочих зонах

Опции:

  • Дополнительная линия подачи газа с регулятором массового расхода (максимум 3 единицы)
  • Турбомолекулярная помпа, 10-6 млбар с вакуумным клапаном и датчиком вакуума
  • Замкнутая система охлаждения
  • Термопара

 

Технические характеристики

Характеристики
Основные
Производитель   UniTemp GmbH
Страна производитель Германия
Дополнительный сервис   Установка
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте