Корзина
10 отзывов
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211
Новые системы совмещения и экспонирования фотошаблона с подложкой от компании EVG

Новые системы совмещения и экспонирования фотошаблона с подложкой от компании EVG

Передовая автоматизированная система совмещения EVG IQ Aligner®NT и светодиодная оптика для экспонирования с высокой однородностью света

18.04.17

Компания EVG непрерывно реализует инновационные решения в своих системах совмещения фотошаблона с пластиной, которые хорошо известны благодаря их превосходной инженерии и соответствию высочайшим отраслевым стандартам. Все это позволяет регулярно внедрять новые возможности, а также запускать производство систем нового поколения. Последним примером воплощения инновационных технологий является система IQ Aligner®NT, самая передовая, автоматизированная система совмещения от компании EVG для подложек с размером 200 мм и 300 мм, которая будет представлена на выставке SEMICON China 2017. Кроме того представлен новый светодиодный источник света для экспонирования, который обеспечивает известные преимущества для установок фотолитографии и экспонирования с рабочим размером пластин до 200 мм.


IQ Aligner®NT

Новая система IQ Aligner®NT сочетает современное оптическое и механическое оборудование, имеет высокоинтенсивную оптику для экспонирования, точность совмещения до 250 нм, точный контроль зазора экспонирования, а также быстродействующее оборудование для обработки подложек с пропускной способностью 200 подложек в час.

Кроме того, оборудование обладает множеством улучшенных возможностей для самых точных и гибких схем совмещения, например в системе используется микроскоп для полного охвата подложки  на 300 мм, конструкция, которого обеспечивает глобальное многоточечное совмещение, и перемещение фотошаблона по свободному полю.

Оптимизированное программное обеспечение, созданное для обеспечения удобства использования системы, дополняет тщательно разработанную концепцию системы.


Светодиодная оптика для экспонирования

Светодиоды нашли широкое применение во многих задачах из-за их низкого потребления энергии и длительного срока службы. Поэтому неудивительно, что компания EVG решила сделать данные преимущества доступными для клиентов, работающих в области литографии.

В результате компания EVG разработала новую высококачественную светодиодную экспонирующую оптику с высокой однородностью света, которая теперь предлагается для систем совмещения и экспонирования фотошаблона с подложкой, поддерживающих диаметры подложки до 200 мм. 

Предыдущие новости
Контакты
  • Телефон:
    +375 (29) 640-41-26
    +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
  • Контактное лицо:
    Дежурный специалист
  • Адрес:
    ул. Кропоткина, 91 а, Минск, 220020, Беларусь
Карта
social-icon
Loading...