Вакуумные датчики
Вакуумные датчики используются на различных диапазонах давления и основаны на разных принципах действия. Предназначены для измерения давления от атмосферы до глубокого вакуума.
По принципу действия датчики вакуума можно разделить на несколько основных групп:
- деформационные (тензорезисторные, стрелочные, мембранно-емкостные датчики),
- тепловые (датчики Пирани, термопарные и конвекционные),
- ионизационные (ячейка Пеннинга),
- широкодиапазонные датчики (совмещенные ионизационный и тепловой датчики).