Корзина
15 отзывов
E-MAIL: marketing@theseuslab.cz
+375 17 2374211
Оптимизированный мониторинг молекулярных загрязнений в литографии

Оптимизированный мониторинг молекулярных загрязнений в литографии

Оптимизированный мониторинг молекулярных загрязнений в литографии
Преимущества специальная система мониторинга по отношению к традиционной многоточечной системе пробоотбора

12.02.18

Автор статьи Ноэль Демо.

В традиционных системах мониторинга молекулярных загрязнений используется многоточечная система пробоотбора воздуха, подключаемая к анализатору. Такой подход в мониторинге стал нормальным явлением, вызванным необходимостью отслеживать большее количество структурных зон с расходами в разумных пределах. Однако, на сегодняшний день, в технологическом контроле размеров 193 нмоль микроэлектронного производства  возникают определенные трудности, и используемые в настоящее время ограничивающие возможности методы мониторинга проявляют свои недостатки. Основными недостатками традиционного подхода в мониторинге являются:

  • Малый период фактических и зарегистрированных измерений в каждой структурной зоне в сутки
  • Влияние длины колонок образца
  • Время отклика анализатора и время простоя при значительном расхождении в параметрах соседних выборок
  • Минимальная способность выполнять усреднение проб в целях повышения чувствительности.

Например, шестидесятиточечная система пробоотбора с 10-минутным циклом (очистка в течение 9 минут, одноминутная проба) займет 600 минут или 10 часов для отбора всех структурных зон. Каждая структурная зона будет исследоваться в течение 1 минуты каждые 10 часов, оставляя каждую структурную зону неисследуемой в течение оставшихся 9 часов и 59 минут. Очевидно, что контроль качества не может поддерживаться с помощью такого метода мониторинга.

Специальная система мониторинга имеет следующие преимущества по отношению к традиционной многоточечной системе пробоотбора:

  • Система непрерывного контроля
  • Отсутствие пропущенных фрагментов загрязнения
  • Сокращение длины колонки с 20-30 до 2-3 метров. Уменьшенная длина трубок пробоотбора минимизирует взаимодействие молекул загрязнения и поверхности трубки.
  • Улучшение чувствительности в 5-10 раз по сравнению с существующей технологией.

Повышение чувствительности и стабильности реализуется посредством специализированного анализатора при мониторинге молекулярного загрязнения. Поскольку система мониторинга  непрерывно производит пробоотбор в одной и той же среде, усреднение проб может использоваться крайне эффективно для уменьшения пределов обнаружения. При задаче, например, с пределом обнаружения для одноминутной пробы в 120 миллионных долей и при пределе обнаружения для 60-минутного скользящего среднего составит 8,2 миллионных долей. Эффективность особенно заметна в средах с химической фильтрацией, где концентрации обычно являются низкими и стабильными. Пакет программного обеспечения автоматизированного мониторинга может одновременно составлять отдельные одноминутные параметры  и долгосрочный средний показатель. Одноминутные пробы используются для немедленного обнаружения начала загрязнения, а долгосрочное среднее значение используется для мониторинга фонового загрязнения на самых низких уровнях.

 

Источник www.pmeasuring.com

Предыдущие статьи
Контакты
  • Телефон:
    +375 (29) 640-41-26
    +375 (17) 237-42-11 доб. 418,
  • Контактное лицо:
    Дежурный специалист
  • Адрес:
    ул. Калинина, 7Б, Минск, 220012, Беларусь
Карта
social-icon
Loading...